[实用新型]一种用于硅片泡酸分割的恒温系统

权利要求书

1.一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，其特征在于：包括酸槽、恒温水箱、热水泵和热水套，所述热水套围绕所述酸槽一周，热水套的一端与进水管道连通，另一端与出水管道连通，出水管道的另一端与所述恒温水箱连通，进水管道的另一端与所述热水泵的出水口连通，恒温水箱通过管道与热水泵的进水口连通，水在恒温水箱和热水套之间循环流通，所述恒温水箱内设有电加热装置和温度传感器，所述温度传感器、热水泵、电加热装置均连通到控制器。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，其特征在于：所述热水套为槽状空心结构，所述进水管道与所述出水管道均与空心结构连通，热水在热水套的空心结构内循环流通。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，其特征在于：所述恒温水箱上设有补水系统，补水系统包括补水管和补水源，补水管一端与所述恒温水箱连通，另一端接有补水源。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片泡酸分割的恒温系统，其特征在于：所述补水管的上端设有防溅斗，所述补水源设置在防溅斗的上端。