[实用新型]批次型湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，包括槽体、供液管路、惰性气体管路、支架及轴承；所述供液管路一端与刻蚀液源相连通，另一端与所述槽体相连通，以向槽体内供应刻蚀液体；所述惰性气体管路位于所述槽体内且位于槽体下部，与惰性气体源相连通，惰性气体管路上设置有进气孔，以向刻蚀液内供应惰性气体，从而使刻蚀液向上鼓泡；所述支架位于槽体外，所述轴承固定于所述支架上，且所述惰性气体管路与所述轴承相连接；当驱动所述轴承旋转时，所述轴承带动所述惰性气体管路移动以改变所述惰性气体管路的位置。

2.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述惰性气体管路通过连接杆与所述轴承相连接，所述连接杆自所述槽体的底部沿所述槽体的侧壁延伸到所述槽体外部。

3.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述轴承包括塑料轴承。

4.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述批次型湿法刻蚀设备还包括把手，所述把手与所述轴承相连接，以通过所述把手驱动所述轴承旋转。

5.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述批次型湿法刻蚀设备还包括电机，所述电机与所述轴承相连接，以在需要时驱动所述轴承旋转。

6.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述惰性气体管路上的进气孔为多个，多个进气孔均匀间隔分布。

7.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述惰性气体管路为多条，多条惰性气体管路平行间隔分布。

8.根据权利要求1所述的批次型湿法刻蚀设备，其特征在于，所述批次型湿法刻蚀设备还包括加热器及温控装置，所述加热器位于所述槽体内，所述温控装置与所述加热器相连接。