[实用新型]一种用于放置摇晶盘的多工位工作台有效
申请号: | 202120135489.9 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN214175976U | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 向军;封浩;冯霞霞;王金磊 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/329 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 陈章 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 放置 摇晶盘 多工位 工作台 | ||
1.一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述多工位工作台包括
等待工位,用于放置等待取晶操作的摇晶盘;
操作工位,用于放置正在进行取晶操作的摇晶盘;
转移工位,设置在所述等待工位和所述操作工位的下方,用于在所述等待工位和所述操作工位之间转移传递摇晶盘。
2.如权利要求1所述的一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述多工位工作台还包括固定平台(1),所述固定平台(1)上设置有第一气缸(2)和第二气缸(3),所述第一气缸(2)的缸体和第二气缸(3)的缸体竖直固定设置在所述固定平台(1)上,所述等待工位固定设置在所述第一气缸(2)的活塞杆末端并能在所述第一气缸(2)的驱动下上下运动,所述操作工位固定设置在所述第二气缸(3)的活塞杆末端并能在所述第二气缸(3)的驱动下上下运动;所述等待工位或所述操作工位向上运动能由所述转移工位上拾取摇晶盘,所述等待工位或所述操作工位向下运动能将摇晶盘放置在所述转移工位上。
3.如权利要求2所述的一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述等待工位包括有水平固定设置在所述第一气缸(2)的活塞杆末端的第一导轨(4)和滑动安装在所述第一导轨(4)上的第一滑块(5),所述第一滑块(5)上安装有用于放置摇晶盘的等待托盘(6);所述等待托盘(6)上,在位于摇晶盘的下方设置有第一空槽;所述转移工位包括有转移台(7),所述转移台(7)能上下穿过所述第一空槽。
4.如权利要求3所述的一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述操作工位包括有水平固定设置在所述第二气缸(3)的活塞杆末端的第二导轨(8)和滑动安装在所述第二导轨(8)上的第二滑块(9),所述第二滑块(9)上安装有用于放置摇晶盘的操作托盘(10);所述操作托盘(10)上,在位于摇晶盘的下方设置有第二空槽;所述转移台(7)能上下穿过所述第二空槽。
5.如权利要求4所述的一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述转移工位还包括丝杠(11)和滑台(12),所述丝杠(11)的一端设置有转移电机(13),所述转移电机(13)驱动所述丝杠(11)转动并带动所述滑台(12)沿所述丝杠(11)的轴向移动,所述滑台(12)上固定设置有直线气缸(14),所述直线气缸(14)一端设置在所述等待托盘(6)的下方,另一端设置在所述操作托盘(10)的下方;所述丝杠(11)的轴向垂直于所述直线气缸(14)设置,所述转移台(7)固定安装在所述直线气缸(14)的活塞上。
6.如权利要求4所述的一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,其特征在于:所述操作托盘(10)上设置有与所述第二导轨(8)平行的同步带(15),所述同步带(15)在驱动电机(17)的驱动下可沿平行于所述第二导轨(8)的方向运动;所述同步带(15)和所述第二滑块(9)固定连接;所述操作托盘(10)上还设置有将摇晶盘向下压紧在所述操作托盘(10)上的压轮(16)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造