[实用新型]一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具

说明书

本实用新型涉及微通道热沉加工技术领域的一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，包括底板，底板上连接有固定座，固定座上设有车刀行走槽和基板固定部，基板固定部上设有两个与微通道热沉基板上的两个固定孔对应的连接孔，连接孔和固定孔均为台阶孔，固定孔的上端为台阶部，下端为通孔，连接孔的上端为台阶部，下端为螺纹孔，固定孔内设有圆柱形套体，圆柱形套体的法兰部与固定孔的台阶部相匹配，圆柱形套体穿设在通孔内，圆柱形套体内穿设有螺钉，圆柱形套体的内孔上端设有与螺钉的压帽相匹配的压紧部，螺钉穿过圆柱形套体的内孔与连接孔的螺纹孔螺纹连接。本装置结构简单，操作方便，有利于提高微通道热沉基板的超精加工效率和加工质量。

技术领域

本实用新型属于微通道热沉加工技术领域，具体地，涉及一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具。

背景技术

现代微电子技术能够将上百亿个晶体管集成在只有数平方厘米的芯片上。这就导致单位面积上的热流密度显著上升。为了保证电子芯片的可靠安全运行，必须及时将该高热流散发出去。

微通道热沉的微通道内单相/两相流动换热是一种高效的散热技术，然而微通道热沉需要采用超精加工工艺制备，在超精加工过程中，通过吸附等传统工艺进行微通道热沉基板固定时，易出现滑动等影响加工精度的情况发生，而通过传统的夹紧工装，不但工装结构复杂，操作不方便，影响对微通道热沉基板的加工效率，且容易对微通道热沉基板的加工面造成划痕，影响微通道热沉的超精加工质量，为此，亟需对现有的微通道热沉基板超精加工用的工装夹具进行改进。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种微通道热沉基板超精加工用工装夹具，包括底板，所述底板的两端通过支撑块固定在超精加工车床的工作台上，所述底板上可拆卸连接有固定座，所述固定座上设有车刀行走槽和基板固定部，所述基板固定部上设有两个与微通道热沉基板上的两个固定孔一一对应的连接孔，所述连接孔和固定孔均为台阶孔，所述固定孔的上端为台阶部，下端为通孔，所述连接孔的上端为台阶部，下端为螺纹孔，所述固定孔内设有带法兰部的圆柱形套体，所述圆柱形套体的法兰部与固定孔的台阶部相匹配，且圆柱形套体穿设在通孔内，所述圆柱形套体内穿设有螺钉，且圆柱形套体的内孔上端设有与螺钉的压帽相匹配的压紧部，所述螺钉穿过圆柱形套体的内孔与连接孔的螺纹孔螺纹连接。

优选的，所述圆柱形套体与通孔的配合间隙为0.01～0.02mm，用于保证微通道热沉基板在基板固定部上的定位精度。

优选的，所述固定座两端分别设有一个车刀行走槽和一个基板固定部，且固定座两端的车刀行走槽和基板固定部分别呈对角设置，可一次装夹两个微通道热沉基板，有利于提高加工效率。

优选的，所述固定座的车刀行走槽内设有沉头螺栓孔，所述沉头螺栓孔内设有沉头螺栓，所述固定座通过沉头螺栓与底板相连接，且沉头螺栓的顶面不高于车刀行走槽的槽面，方便固定座与底板的快速连接和拆卸，同时也有效避免沉头螺栓干涉车刀的行走。

优选的，所述车刀行走槽为直角弯槽，方便车刀在一次工作行程内完成对微通道热沉基板一个端面和顶面的连续高效超精加工。

本实用新型还包括能够使该微通道热沉基板超精加工用工装夹具正常使用的其它装置或组件，均为本领域的常规技术手段；另外，本实用新型中未加限定的装置和组件均采用本领域中的常规技术手段。