[实用新型]一种用于等离子固态冶金的新型源极装置

说明书

本实用新型公开了一种用于等离子固态冶金的新型源极装置，包括两端开口的中空棱柱状筒身，筒身内侧的各筒壁上设有凹台，凹台的底部设有卡槽，筒身的各棱角处倒为圆角，各圆角对应的筒身圆周上设有圆孔；棱柱状筒身为四棱柱状筒身，每个棱角处倒为圆角，其中一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有2个凹台，另一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有1个凹台；该装置结构简单，源极靶材安装方便，减少了源极熔融，靶材和预渗基材之间的距离方便调整，可以同时采用板状源极靶材和棒状源极靶材对预渗基材共渗进行固态冶金。

技术领域

本实用新型涉及等离子固态冶金技术领域，具体是一种用于等离子固态冶金的新型源极装置。

背景技术

等离子固态冶金技术是一项在金属材料表面实施合金化的表面改性新技术。该技术能进行所有固态金属元素、非金属元素渗入的等离子表面合金化技术。源极靶材的几何结构是等离子固态冶金设备的重要部分，直接影响工件表面渗层效果和源极消耗。

在现有的源极装置中，结构复杂，或者只能安装一种形状的源极材料对预渗基材进行固态冶金，导致渗入基材中的源极材料分布不均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，而提供一种用于等离子固态冶金的新型源极装置。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种用于等离子固态冶金的新型源极装置，包括两端开口的中空棱柱状筒身，筒身内侧的各筒壁上设有凹台，凹台的底部设有卡槽，筒身的各棱角处倒为圆角，各圆角对应的筒身圆周上设有圆孔。

所述的棱柱状筒身为四棱柱状筒身，每个棱角处倒为圆角，其中一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有2个凹台，另一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有1个凹台。

所述的圆角为R30-R50。

所述的卡槽为矩形状卡槽，用于插放源极板靶材。

所述的圆孔呈阵列式周期排布。

本实用新型提供的一种用于等离子固态冶金的新型源极装置，该装置结构简单，源极靶材安装方便，减少了源极熔融，靶材和预渗基材之间的距离方便调整，可以同时采用板状源极靶材和棒状源极靶材对预渗基材共渗进行固态冶金。

附图说明

图1为一种用于等离子固态冶金的新型源极装置的轴测视图；

图2为图1的正视剖视图；

图3为图1的俯视图；

图4为一种用于等离子固态冶金的新型源极装置工作时的示意图；

图中：1.筒身 2.圆角 3.凹台 4.圆孔 5.卡槽 6.板状源极 7.棒状源极。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型内容做进一步阐述，但不是对本实用新型的限定。

实施例：

如图1、图2和图3所示：

一种用于等离子固态冶金的新型源极装置，包括两端开口的中空四棱柱状筒身，其中一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有2个凹台，另一对相互平行的筒身内侧筒壁上分别设有1个凹台，每个凹台的底部设有矩形状的卡槽，用于插放源极板；筒身的各棱角处倒为圆角，各圆角对应的筒身圆周上设有呈阵列式周期排布的圆孔，圆孔用于插放棒状源极。

所述的圆角为R30-R50。

使用该装置时，将该装置竖直放置在双阴极等离子固态冶金设备接入源极脉冲电源的工作盘上，将板状源极靶材插入筒身内侧凹台底部的卡槽上，棒状源极靶材插入圆孔上，将预渗基材悬挂入本装置的中空筒身内，且不与板状、棒状的源极靶材接触。