[实用新型]一种可调节移动反射镜支架连接件

说明书

本实用新型涉及一种可调节移动反射镜支架连接件，包括连接件本体，连接件本体包括顶端面、侧端面、底端面和倾斜侧端面，顶端面上的两端均开设有铣槽，倾斜侧端面上的两端均开设有螺纹孔。本实用新型改变反射镜的位置来使激光光斑照射到反射镜的中心，从而使光斑能量得到充分利用，延长激光器气体的使用寿命，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及反射镜支架连接件相关技术领域，尤其涉及一种可调节移动反射镜支架连接件。

背景技术

支架连接件是激光脉冲镀膜机台的关键组成部分，激光由激光器发出，光路经过几个反射镜的反射以及最后的聚焦镜的聚焦到达机台制程腔室的靶材上，而连接件用于连接反射镜和固定背板，是光路组成的不可缺少的一部分，支架连接件用于调节激光光斑相对于反射镜的位置，激光脉冲镀膜机要求激光光斑能量尽可能完全被利用以获得良好的制程品质，所以连接件是决定芯片最后品质是否合格的关键因素。

现有技术如附图1所示，该现有技术的缺点是无法根据外界条件因素的改变而改变光斑进入初始光路到达反射镜的位置，从而导致激光能量的大大损失以及对后续产品的品质影响，同时会对反射镜的使用寿命大打折扣，增加了成本。如果按照现有技术，则使用的是激光光斑的边缘能量，最后达到沉积靶材的激光会影响靶材的使用寿命，同样会增加了使用成本。因为光斑的反射是环环相扣的，所以对于光路初始光斑位置的要求极其严格，每次光斑相对于反射镜的位置必须位于反射镜的中心(以达到光斑能量的最大利用率)。而此技术正是用于光路的起始端来获得激光能量的最大利用率。在整个激光脉冲镀膜机台的系统中，激光器产生的激光的位置会根据现场的实际情况以及场地位置的改变而频繁变化，所以此发明用于针对现场的不确定变化的各种因素。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种可调节移动反射镜支架连接件，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种可调节移动反射镜支架连接件。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可调节移动反射镜支架连接件，包括连接件本体，连接件本体包括顶端面、侧端面、底端面和倾斜侧端面，连接件本体的顶部设置有顶端面，连接件本体的底部设置有底端面，连接件本体的两侧端分别设置有侧端面和倾斜侧端面，侧端面分别与顶端面和底端面相垂直设置，倾斜侧端面的顶部与顶端面相连接，倾斜侧端面的底部与底端面相连接，顶端面上的两端均开设有铣槽，倾斜侧端面上的两端均开设有螺纹孔。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽由顶端面延伸至倾斜侧端面上。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽的内侧底部设置有台阶，台阶两侧的圆弧直径为6mm，台阶中间的宽度为6mm，台阶的高度为2mm。

作为本实用新型的进一步改进，铣槽一侧的顶端面上设置有刻度层。

作为本实用新型的进一步改进，连接件本体为铝合金块结构设置。

作为本实用新型的进一步改进，螺纹孔的直径为4mm。

作为本实用新型的进一步改进，倾斜侧端面的倾斜角度为45度。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、改变反射镜的位置来使激光光斑照射到反射镜的中心，从而使光斑能量得到充分利用，延长激光器气体的使用寿命，降低成本。

2、针对现场因素的变化可以适当性调节出所需要的激光光斑位置。

3、延长了反射镜以及沉积靶材的使用寿命，降低机台的使用和维护保养成本。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。