[实用新型]一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台

说明书

本实用新型公开了一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台，包括X轴导轨、Y轴导轨和Z轴导轨，所述X轴导轨的下部设置有真空室底板，所述X轴导轨的下部设置有X轴驱动电机，所述X轴驱动电机通过联轴节和连接轴安装有磁流体，所述X轴导轨的底部一端安装有齿条，所述磁流体远离X轴驱动电机的一端安装有齿轮，所述X轴导轨的顶部设置有样片台，所述Y轴导轨上设置有Y轴驱动电机，所述Y轴驱动电机输出端安装有蜗轮蜗杆。本实用新型有效实现样片台对于加工源的扫描移动，并能以X轴旋转移动平台，有效提高整体的工作效率，减少人工操作，降低工作效率。

技术领域

本实用新型涉及真空室技术领域，具体来说，涉及一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台。

背景技术

现有的真空室内的样片台无法根据需求进行移动，降低整体的工作效率，无法实现对加工源的扫描进行移动，实用性低，传统的真空室内的样片台需要人工进行移动，劳动力度大，增加人工操作，导致人工成本提高，安全系数低。针对相关技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题，本实用新型的目的是为了实现样片台在真空室内X轴、Y轴、Z轴移动，可实现样片台对于加工源的扫描移动，并能以X轴旋转移动平台。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台，包括X轴导轨1、Y轴导轨2和Z轴导轨14，所述X轴导轨1的下部设置有真空室底板3，所述X轴导轨1的下部设置有X轴驱动电机4，所述X轴驱动电机4通过联轴节11和连接轴12安装有磁流体5，所述X轴导轨1的底部一端安装有齿条6，所述磁流体5远离X轴驱动电机4的一端安装有齿轮7，所述齿轮7带动齿条6进行移动，所述X轴导轨1的顶部设置有样片台8，所述样片台8的底部设置有支撑板9，所述支撑板9的底部固定安装有滚轮10，所述滚轮10在X轴导轨1的内壁滚动，所述Y轴导轨2上设置有Y轴驱动电机13，所述Y轴驱动电机13输出端安装有蜗轮蜗杆15，所述Y轴驱动电机13带动蜗轮蜗杆15在Y轴导轨2上进行上下移动。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述磁流体5贯穿真空室底板3通过齿轮7带动齿条6进行移动。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述滚轮10设置有四个，所述四个滚轮10分布均匀设置在支撑板9的底部四周，所述X轴导轨1为两条光轴，所述滚轮10上均安装有2个轴承，所述四个滚轮10在X轴导轨1上进行左右滚动。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述X轴驱动电机4的输出端通过连接轴12连接联轴节11的一端，所述联轴节11的另一端通过连接轴12连接磁流体5。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述Y轴导轨2选用无油线性直线导轨。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述X轴驱动电机4和Y轴驱动电机13均采用伺服电机。

在本实用新型的较佳实施方式中，所述样片台8的Z轴移和X轴旋转均通过手动调整实现。

本实用新型提供的装置具有以下技术效果：

（1）本实用新型包括X轴导轨、Y轴导轨和Z轴导轨，X轴导轨的下部设置有真空室底板，X轴导轨的下部设置有X轴驱动电机，X轴驱动电机通过联轴节和连接轴安装有磁流体，有效保证X轴驱动电机在传动过程中，保持真空室的真空，不泄露真空，X轴驱动电机带动连接轴进行转动，从而带动联轴节进行转动，联轴节的转动从而带动磁流体进行转动，提高转动速率，X轴导轨1的底部一端安装有齿条，磁流体远离X轴驱动电机的一端安装有齿轮，磁流体的转动从而带动齿轮进行转动，齿轮带动齿条进行移动，X轴导轨的顶部设置有样片台， Y轴导轨上设置有Y轴驱动电机，Y轴驱动电机输出端安装有蜗轮蜗杆， Y轴驱动电机带动蜗轮蜗杆在Y轴导轨上进行上下移动；