[实用新型]板件夹具及真空镀膜设备有效
申请号: | 202120106958.4 | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN214458293U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 陈德浇;司继伟;杜武兵 | 申请(专利权)人: | 深圳市路维光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 真空镀膜 设备 | ||
本实用新型公开了一种板件夹具,用于夹持板件,包括立杆、夹持杆和调整组件。立杆设置有两个,两个立杆相互平行设置;夹持杆设置有多个,相邻的夹持杆的相对侧面能够夹持板件的两个相对的侧边;调整组件包括滑块和锁紧件,滑块滑动连接于立杆,夹持杆的两端通过滑块分别连接于两个立杆,锁紧件用于将滑块固定于立杆上。调整组件能够沿立杆长度方向调整夹持杆的位置,从而能够调整相邻的夹持杆间的距离,以夹持多种不同尺寸的板件。
技术领域
本实用新型涉及工装夹具技术领域,尤其是涉及一种板件夹具及真空镀膜设备。
背景技术
许多领域中,加工板件时,需要使用板件夹具对板件进行固定,例如掩模版的真空镀膜,需将掩模版固定于板件夹具上,再在真空镀膜设备中进行真空镀膜。相关技术中,出现了适用于板件的夹具,但其适用范围较窄,通常仅适用于固定尺寸的板件,通用性较低。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种板件夹具,能够夹持多种不同尺寸的板件。
本实用新型还提出了一种包括上述板件夹具的真空镀膜设备。
本实用新型第一方面实施例提供的板件夹具,用于夹持板件,包括:立杆,所述立杆设置有两个,两个所述立杆相互平行设置;夹持杆,所述夹持杆设置有多个,相邻的所述夹持杆的相对侧面能够夹持所述板件的两个相对的侧边;调整组件,包括滑块和锁紧件,所述滑块滑动连接于所述立杆,所述夹持杆的两端通过所述滑块分别连接于两个所述立杆,所述锁紧件用于将所述滑块固定于所述立杆上。
本实用新型第一方面实施例提供的板件夹具,至少具有如下有益效果:调整组件能够沿立杆长度方向调整夹持杆的位置,从而能够调整相邻的夹持杆间的距离,以夹持多种不同尺寸的板件。
在本实用新型的一些实施例中,所述夹持杆上设置有夹持槽,所述夹持槽位于所述夹持杆靠近相邻的所述夹持杆的侧面上,所述夹持槽用于容纳所述板件的侧边。
在本实用新型的一些实施例中,所述板件夹具还包括夹持块,所述夹持块滑动连接于所述夹持杆,所述夹持块靠近相邻的所述夹持杆的侧面上设置有夹持槽。
在本实用新型的一些实施例中,还包括限位块,所述限位块连接于所述夹持杆或所述立杆,所述限位块用于限位所述板件未被夹持的两个相对的侧边。
在本实用新型的一些实施例中,所述限位块滑动连接于所述夹持杆。
在本实用新型的一些实施例中,所述立杆的一端设置有伸缩杆,所述伸缩杆能够沿所述立杆的长度方向移动并相对所述立杆伸出或退回。
在本实用新型的一些实施例中,所述立杆为中空结构,所述立杆的内部与所述伸缩杆的外部设置有能够相互配合的螺纹。
在本实用新型的一些实施例中,所述立杆的一端设置有底座。
在本实用新型的一些实施例中,所述伸缩杆的伸出端设置有顶座。
本实用新型第二方面实施例提供的真空镀膜设备,包括上述任一实施例提供的板件夹具。
本实用新型第二方面实施例提供的真空镀膜设备,至少具有如下有益效果:采用可夹持多种不同尺寸板件的板件夹具,能够使真空镀膜设备支持不同尺寸的板件的加工,提高真空镀膜设备的通用性。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明,其中:
图1为本实用新型提供的一些实施例的板件夹具的立体示意图;
图2为图1中A处的局部放大图;
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