[实用新型]一种晶锭的打磨处理装置

说明书

本实用新型提供了一种晶锭的打磨处理装置，该装置包括放置平台，放置平台用于放置晶锭；第一固定组件，第一固定组件设置于放置平台上方，第一固定组件能够接触晶锭的上表面并对晶锭固定；打磨转轴，打磨转轴设置于放置平台上方，打磨转轴能够旋转，打磨转轴的内壁设置有打磨面，打磨面能够与晶锭的侧面接触，以对晶锭的侧面进行打磨。通过设置第一固定组件和打磨转轴，第一固定组件对晶锭进行固定，打磨转轴的打磨面对晶锭侧面进行打磨处理；该打磨处理增加了晶锭侧面的可视化程度，提高了晶锭初筛的准确度。

技术领域

本实用新型涉及一种晶锭的打磨处理装置，属于半导体材料加工处理设备的技术领域。

背景技术

晶锭在制备完成后，需要经过后续的加工、质量检测等步骤，检测质量合格后的产品才能进一步应用。由于在加工时，需要对晶锭进行切片，不仅工作量大；且后续如果质量检测不合格的残次品，由于已经切片，限制了残次品的整体利用。

晶锭在开炉后可进行人为判断，进行初步筛选，去除明显不合格的产品，可减少后续的加工、质量检测的工作量。但是对于晶锭，尤其是晶锭的侧面表现为可视性较低，人为判断较为困难，同时易出现判断错误，这样对于晶锭的初步筛选极易出现误差，误差的出现会导致后续的粗加工及细加工的工作强度加大，工作效率降低。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶锭的打磨处理装置，通过设置第一固定组件和打磨转轴，第一固定组件对晶锭进行固定，打磨转轴的打磨面对晶锭侧面进行打磨处理；该打磨处理增加了晶锭侧面的可视化程度，提高了晶锭初筛的准确度。

本申请采用的技术方案如下：

本申请提供了一种一种晶锭的打磨处理装置，其特征在于，所述装置包括：

放置平台，所述放置平台用于放置晶锭；

第一固定组件，所述第一固定组件设置于所述放置平台上方，所述第一固定组件能够接触所述晶锭的上表面并对所述晶锭固定；

打磨转轴，所述打磨转轴设置于所述放置平台上方，所述打磨转轴能够旋转，所述打磨转轴的内壁设置有打磨面，所述打磨面能够与晶锭的侧面接触，以对所述晶锭的侧面进行打磨。

优选的，所述打磨转轴的内壁设置为多个凹凸点组成的细糙面，所述细糙面形成所述打磨面；

所述凹凸点的直径为1～100nm。

优选的，所述打磨转轴的内壁粘贴有砂纸，所述砂纸形成所述打磨面。

优选的，所述打磨转轴的内径与所述晶锭的外径相等。

优选的，所述第一固定组件包括第一伸缩杆和固定块，所述固定块固定在第一伸缩杆的底端，所述固定块接触所述晶锭的上表面并对所述晶锭固定；

所述打磨转轴与所述第一伸缩杆连接。

优选的，所述打磨转轴的底端可拆卸安装打磨板，所述打磨板用于对晶锭的籽晶面进行打磨。

优选的，所述放置平台的侧边设置第二固定组件，所述第二固定组件包括第二伸缩杆和夹紧结构，所述夹紧结构设置在第二伸缩杆的顶端，所述夹紧结构用于对晶锭的侧面进行固定。

优选的，所述夹紧结构为圆环结构，所述圆环结构设置有充气口，所述圆环结构充气后用于对晶锭的侧面四周进行固定。

优选的，所述装置还包括第三伸缩杆，所述第三伸缩杆的底端安装有切割结构，所述切割结构用于对所述晶锭的凸面进行切割。

优选的，所述放置平台的底端通过滑块与滑轨连接。

本实用新型的有益效果包括但不限于：