[实用新型]一种光纤级波导芯片多输出耦合装置

权利要求书

1.一种光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，包括：

光学平台(101)；

安装在所述光学平台(101)上，用于固定波导芯片并调整波导芯片位置的芯片固定装置(200)；

以所述芯片固定装置(200)为中心成品字形布置安装在所述光学平台(101)上，用于实现锥头光纤-波导芯片-锥头光纤的耦合双输出检测的耦合系统(300)；以及

一方面用于吸附波导芯片，另一方面用于吸附锥头光纤的真空吸附系统。

2.根据权利要求1所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，还包括：安装在所述光学平台(101)上，用于在耦合过程中实时观测锥头光纤及波导芯片在水平方向和垂直方向上的位置匹配状况的成像系统。

3.根据权利要求1所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，所述芯片固定装置(200)包括：

用于放置波导芯片，表面开设有多个气孔，内部与所述真空吸附系统连通的芯片座(205)；

用于固定所述芯片座(205)的固定座(204)；

用于固定所述固定座(204)，并调整所述固定座(204)角度的角度分度盘(203)；

用于固定所述角度分度盘(203)，并调整所述角度分度盘(203)在空间直角坐标系中三个方向位置的第一三轴调整平台(202)；以及

用于固定所述第一三轴调整平台(202)，并固定安装在所述光学平台(101)上的第一底座(201)。

4.根据权利要求3所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，所述耦合系统包括：位于所述芯片固定装置(200)右侧的右侧耦合装置，以及位于所述芯片固定装置(200)左侧并前后对称布置的两个左侧耦合装置；

所述右侧耦合装置包括：

与锥头光纤固定相连的光纤连接轴(305)；

用于固定所述光纤连接轴(305)的连接座(304)；

用于固定连接所述连接座(304)的连接平台(303)；

用于固定所述连接平台(303)，并调整所述连接平台(303)在空间直角坐标系中三个方向位置的第二三轴调整平台(302)；以及

用于固定所述第二三轴调整平台(302)，并安装在所述光学平台(101)上的第二底座(301)；

所述左侧耦合装置包括：

安装在所述光学平台(101)上的第三底座(306)；

固定在所述第三底座(306)上，用于调节十二个自由度的六轴调整平台(307)；以及

安装在所述六轴调整平台(307)上，由所述六轴调整平台(307)调节十二个自由度，并且内部与所述真空吸附系统连通的锥头光纤吸附座(308)；

其中，两个所述锥头光纤吸附座(308)相对并各自吸附一个锥头光纤，两个锥头光纤平行；

两个所述锥头光纤吸附座(308)左侧的所述光学平台(101)上固定有用于支撑两个所述锥头光纤吸附座(308)所吸附的两个锥头光纤的光纤支撑座(311)。

5.根据权利要求4所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，所述锥头光纤吸附座(308)开设有用于连通所述真空吸附系统的螺纹孔(3081)，所述锥头光纤吸附座(308)前端表面开设有连通所述螺纹孔(3081)的两组气孔(3082)，两组气孔(3082)中间的所述锥头光纤吸附座(308)端部开设有凹槽(3083)；

所述锥头光纤吸附座(308)端部边沿设有两个半径不同的弯曲部(3084)。

6.根据权利要求4所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置，其特征在于，所述真空吸附系统包括：真空泵(401)、两个一分二转换接头(402)以及三个分别螺纹连通所述芯片座(205)、两个锥头光纤吸附座(308)的外螺纹直通接头(404)；

第一个所述一分二转换接头(402)的输入端连通所述真空泵(401)，一个输出端通过透明软气管(403)连接螺纹连通所述芯片座(205)的外螺纹直通接头(404)，另一个输出端通过第二个所述一分二转换接头(402)和透明软气管(403)连接螺纹连通两个锥头光纤吸附座(308)的外螺纹直通接头(404)。