[实用新型]旋转装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转装置，包括：支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；旋转框架，设置于第一支撑架和第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，相对设置的第三边框和第四边框，第一边框与第一支撑架连接，第二边框与第二支撑架连接；夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板；第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，第一主动旋转轴设置于第一边框和第一支撑架之间，第一从动旋转轴设置于第二边框和第二支撑架之间；第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，第二主动旋转轴设置于第一夹持板和第三框架之间，第二从动旋转轴设置于第二夹持板和第四边框之间。

技术领域

本实用新型涉及硅产品制作技术领域，尤其涉及一种旋转装置。

背景技术

随着芯片技术的不断提升，巨大集成电路的发展，对生产芯片的基础材料硅片的品质要求越来越高，为了能够生产出符合芯片生产要求的硅片材料，就需要对硅片及硅片存放治具进行各种清洁及检验。

常用的清洗方式是采用人工旋转硅片Casset(片盒)来完成清洁，由于片盒体积比较大，重量也比较大，人工旋转清洁比较困难，而且由于手动操作，会带来不同程度上的误差，清洁程度也难以保证，导致最终结果可信度不高；片盒的清洁液一般为HF和HNO₃混合液，由于片盒的长时间使用，密封性存在一些问题，所以人工清洗时清洁液也容易泄露，因为HF毒性大，可能会对人体造成非常大的危害。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种旋转装置，解决人工旋转待清洗盒体结构以对待清洗盒体结构进行清洁的方式，效率低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种旋转装置，用于对待清洗盒体结构的清洗，包括：

支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；

旋转框架，设置于所述第一支撑架和所述第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，和相对设置的第三边框和第四边框，所述第一边框与所述第一支撑架连接，所述第二边框与所述第二支撑架连接；

夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板设置于所述第三边框上，所述第二夹持板设置于所述第四边框上，所述第一夹持板的夹持面和所述第二夹持板的夹持面相向设置；

第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，所述第一主动旋转轴设置于所述第一边框和所述第一支撑架之间，所述第一从动旋转轴设置于所述第二边框和所述第二支撑架之间，在所述驱动部的驱动下，所述第一主动旋转轴带动所述第一从动旋转轴运动，以控制所述旋转框架旋转；

第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，所述第二主动旋转轴设置于所述第一夹持板和所述第三边框之间，所述第二从动旋转轴设置于所述第二夹持板和所述第四边框之间，所述传动单元包括依次传动连接的第一传动组件、直角传动组件和第二传动组件，所述第一传动组件的一端与所述第一从动旋转轴传动连接，所述第二传动组件的一端与所述第二主动旋转轴传动连接；

将待清洗盒体结构通过所述夹持组件夹持时，在所述驱动部的驱动下，所述旋转框架旋转，同时，在所述第一从动旋转轴、所述传动单元的传动下，使得所述第二主动旋转轴带动所述夹持组件旋转，以带动待清洗盒体结构旋转，以对待清洗盒体结构进行清洗。

可选的，所述第一传动组件设置于所述第二边框上，所述第一传动组件包括通过同步传动带连接的第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮与所述第一从动旋转轴传动连接。

可选的，所述第一传动组件还包括第一导向轮，所述第一导向轮设置于所述第一传动轮和所述第二传动轮之间。