[实用新型]一种芯片时序检测装置

权利要求书

1.一种芯片时序检测装置，包括工作台(1)、二向色镜(4)、滤色片(5)、荧光镜头(6)、光电倍增管(7)、针孔(8)、准直镜(12)和电缆(10)，其特征在于，所述工作台(1)的顶部固定有防尘罩(3)，所述防尘罩(3)的内部安装有检测头(2)和模/数采集板(9)，所述二向色镜(4)、滤色片(5)、荧光镜头(6)、光电倍增管(7)、针孔(8)和准直镜(12)均位于检测头(2)上，所述荧光镜头(6)位于检测头(2)的底部，所述荧光镜头(6)与准直镜(12)的光路呈直角，所述二向色镜(4)、滤色片(5)、针孔(8)和荧光镜头(6)的数量均设置三个，单个所述二向色镜(4)、滤色片(5)、针孔(8)和荧光镜头(6)为一组，所述针孔(8)位于荧光镜头(6)和光电倍增管(7)之间的光路上，所述滤色片(5)位于针孔(8)的前侧，所述二向色镜(4)位于荧光镜头(6)和与之垂直的光路交汇处，所述光电倍增管(7)通过电缆(10)与模/数采集板(9)连接，所述防尘罩(3)的内壁左侧固定有激光器(11)，所述激光器(11)的右侧安装有光纤(13)，所述光纤(13)的一端与准直镜(12)连接；

所述防尘罩(3)的顶部左端设置有排风管(14)，所述排风管(14)的内侧从上到下依次安装有第一防尘网(15)和风机(16)，所述排风管(14)的外侧设置有固定环(17)，所述激光器(11)的外侧固定有散热板(18)，所述防尘罩(3)的左侧下端开设有进风孔(19)，所述进风孔(19)的开口处安装有第二防尘网(20)，所述工作台(1)的底部两端均固定有支撑板(21)，两个所述支撑板(21)之间固定有横板(22)，所述横板(22)的顶面中部固定有气缸(23)，所述气缸(23)的输出端固定有移动板(24)，所述移动板(24)的顶部右端固定有第一驱动电机(25)，所述移动板(24)的顶部左端固定有固定块(26)，所述移动板(24)的顶面开设有滑槽(27)，所述滑槽(27)的内部滑动连接有X轴移动块(28)，所述第一驱动电机(25)的输出端通过联轴器连接有第一丝杆(36)，所述第一丝杆(36)的左端贯穿X轴移动块(28)并通过轴承与固定块(26)的右侧连接，所述移动板(24)和横板(22)之间设置有两个伸缩杆(29)，所述X轴移动块(28)的顶部开设有凹槽(30)，所述凹槽(30)的内壁前侧固定有第二驱动电机(31)，所述第二驱动电机(31)的输出端通过联轴器连接有第二丝杆(32)，所述第二丝杆(32)的后端通过轴承与凹槽(30)的内壁后侧连接，所述第二丝杆(32)的外侧螺纹连接有Y轴移动块(33)，所述Y轴移动块(33)的底部与凹槽(30)的内部滑动连接，所述Y轴移动块(33)的顶部安装有芯片盒(34)，所述芯片盒(34)的内部安装有芯片本体(35)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述固定环(17)的内侧设置有内螺纹，所述排风管(14)的外侧上端设置有外螺纹，所述固定环(17)内侧的内螺纹与排风管(14)外侧上端的外螺纹处螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述固定环(17)的顶部安装有螺栓，所述固定环(17)通过螺栓与防尘罩(3)的顶部固定。

4.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述工作台(1)的底面中部开设有通孔，所述移动板(24)位于通孔的内部。

5.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述气缸(23)位于两个伸缩杆(29)之间，所述伸缩杆(29)包括套杆和内杆，所述套杆的底部与横板(22)的顶部固定，所述内杆的顶部与移动板(24)的底部固定。

6.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述散热板(18)的数量设置为多个，相邻两个所述散热板(18)之间的距离相等。

7.根据权利要求1所述的一种芯片时序检测装置，其特征在于，所述支撑板(21)的底部粘接有防滑垫，所述防滑垫由橡胶材料制成。