[实用新型]一种机械手压篮检测装置

说明书

本实用新型公开了一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板、勾取板固定件、感应部和磁铁部，所述活动勾取板与勾取板固定件滑动配合，所述活动勾取板的顶部内嵌设置有感应部，所述勾取板固定件上远离活动勾取板的一侧内嵌设置有磁铁部，所述感应部和磁铁部通过磁感应方式进行信号传输，通过感应部和磁铁部磁感应方式进行压篮检测，不受环境内雾气等干扰条件影响，能够显著提高检测的可靠性，同时此检测装置反应灵敏，能及时异常做出反应，有效降低因异常带来的设备或产品损害。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体是一种机械手压篮检测装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如硅片就是采用半导体制作的器件。

在半导体及太阳能槽式自动清洗行业, 由于槽体热胀冷缩，常出现机械手不能有效勾取到位于处理槽内的硅片载具，导致硅片载具在悬空移动中掉落，或出现机械手上下移动时处理槽有遗留硅片载具，机械手仍然再次往反应槽内放置硅片载具，导致压篮故障，针对压篮这一异常，为降低异常带来的意外损失，行业内通常会在机械手上安装传感器，目的是在机械手压篮时能及时停止机械手运动并报警，受工况环境的影响，检测的方法及传感器的选择局限性较大，市面上设备通常使用的光电传感器或超声波传感器、压力传感器等常出现误报警情况，导致设备非正常停机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械手压篮检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板、勾取板固定件、感应部和磁铁部，所述活动勾取板与勾取板固定件滑动配合，所述活动勾取板的顶部内嵌设置有感应部，所述勾取板固定件上远离活动勾取板的一侧内嵌设置有磁铁部，所述感应部和磁铁部通过磁感应方式进行信号传输。

进一步的，所述活动勾取板上底部远离勾取板固定件的一侧固定安装有机械手。

进一步的，所述勾取板固定件固定安装在检测仪器上。

进一步的，所述感应部与数据处理器通过信号线缆连接。

进一步的，所述活动勾取板的底部外侧的机械手与PLC控制元件通过信号线缆连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过感应部和磁铁部磁感应方式进行压篮检测，不受环境内雾气等干扰条件影响，能够显著提高检测的可靠性，同时此检测装置反应灵敏，能及时异常做出反应，有效降低因异常带来的设备或产品损害。

附图说明

图1为本实用新型的初始状态的结构示意图。

图2为本实用新型中触发状态的结构示意图。

图中：1-活动勾取板，2-勾取板固定件，3-感应部，4-磁铁部。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板1、勾取板固定件2、感应部3和磁铁部4，所述活动勾取板1与勾取板固定件2滑动配合，所述活动勾取板1的顶部内嵌设置有感应部3，所述勾取板固定件2上远离活动勾取板1的一侧内嵌设置有磁铁部4，所述感应部3和磁铁部4通过磁感应方式进行信号传输，当感应部3与磁铁部4的位移量超过预设感应区域，感应部3内的电路通断状态发生改变，对装置进行紧急停车，防止压篮故障的发生。