[实用新型]基于三工位的晶圆翻转夹持装置

权利要求书

1.基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，包括手柄（2）、一对夹持手臂（7）、吸附晶圆插槽（8）、夹持推进机构（6）、翻转机构；所述吸附晶圆插槽安装于夹持手臂，所述手柄末端设有进气口（1），由进气口给吸附晶圆插槽通入气体，以吸附晶圆；所述夹持手臂通过夹持推进机构张合，通过翻转机构实现翻转晶圆（18）。

2.根据权利要求1所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述夹持推进机构包括旋转支撑板（16）、两根副轴（15）、中心主轴（11）、蜗轮（19）、中心旋转电机（12）、转向架（10）；所述中心旋转电机安装于手柄内部，并驱动连接蜗轮，所述中心主轴设有与蜗轮啮合的蜗杆；所述旋转支撑板固接于手柄头端，所述中心主轴穿过旋转支撑板、转向架，并分别与旋转支撑板螺纹配合、与转向架滑动配合；两根副轴的一端分别与两个夹持手臂尾部铰接，另一端共同铰接于中心主轴，两个夹持手臂尾部还分别通过圆柱销、滑动槽（14）与转向架的两端滑动配合；中心旋转电机驱动中心主轴旋转，使中心主轴上行或下行，从而带动两根副轴转动，同时夹持手臂尾部与转向架相对滑动，使一对夹持手臂实现张合。

3.根据权利要求2所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述翻转机构包括两根支撑架（5）、旋转齿轮（4）、小齿轮（9）、侧边旋转电机（17），所述旋转齿轮为环形，其内侧壁具有与小齿轮啮合的内齿圈；两根支撑架相对布置，一端分别与旋转齿轮固接，另一端分别固接于转向架的两侧；所述旋转支撑板设有一圈滑道（13），所述旋转齿轮通过滑槽与旋转支撑板转动配合；侧边旋转电机驱动小齿轮，带动旋转齿轮转动，从而使旋转架带动两夹持手臂翻转。

4.根据权利要求1所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述手柄设有吸附晶圆插槽的通气开关（3）。

5.根据权利要求1所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述吸附晶圆插槽为弧形结构，共三组，其中一组与中心主轴头部固接，另外两组分别与夹持手臂相连，三个吸附晶圆插槽的间隔60°圆心角布置。

6.根据权利要求5所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述吸附晶圆插槽具有U型槽，U型槽里面的上下面各有六个吸附孔（81），相邻两个吸附孔间隔10°圆心角，整个吸附晶圆插槽为60°。

7.根据权利要求6所述的基于三工位的晶圆翻转夹持装置，其特征是，所述U型槽槽底设有感测晶圆的传感器（82）。