[实用新型]一种晶圆机械手装置

权利要求书

1.一种晶圆机械手装置，其特征在于，包括：控制器、平移机构及用于拿取晶圆的机械手；其中，与晶圆摆放的平面相平行的面为水平面；

所述机械手及所述平移机构的数量为至少两个，每一所述机械手都与一平移机构的行动端传动连接，并通过所述行动端带动做水平面上的平移运动；所述平移机构的受控端与所述控制器的控制端相连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆机械手装置，其特征在于，还包括旋转机构，所述旋转机构的行动端与所述机械手传动连接，并带动所述机械手在水平面上做旋转运动；所述旋转机构的受控端与所述控制器的控制端相连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述旋转机构包括第二电机及旋转轴，所述旋转轴与所述机械手传动连接；所述第二电机与所述旋转轴传动连接，并带动所述旋转轴自转，进而带动所述机械手在水平面上做旋转运动。

4.根据权利要求1所述的晶圆机械手装置，其特征在于，还包括升降机构，所述升降机构的行动端与所述机械手传动连接，并带动所述机械手做竖直方向的直线往复运动；所述升降机构的受控端与所述控制器的控制端相连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述升降机构包括第三电机及与所述第三电机传动连接的第二丝杆，所述第二丝杆与所述机械手相连接，并带动所述机械手做竖直方向的直线往复运动。

6.根据权利要求1所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述平移机构的行动端带动所述机械手在水平面上做直线往复运动。

7.根据权利要求6所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述平移机构包括第一电机及与所述第一电机传动连接的第一丝杆，所述第一丝杆与所述机械手相连接，并带动所述机械手在水平面上做直线往复运动。

8.根据权利要求7所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述平移机构还包括滑块及滑轨，所述滑块滑动连接于所述滑轨上，所述机械手与所述滑块相固定，所述第一丝杆带动所述机械手沿所述滑轨做水平面上的直线往复运动。

9.根据权利要求1所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述平移机构上设有到位开关，所述到位开关的输出端与所述控制器的输入端连接；当所述机械手移动至预设位置时，触发所述到位开关。

10.根据权利要求1所述的晶圆机械手装置，其特征在于，所述机械手包括支撑架及固定于支撑架上的V形薄片；所述平移机构与所述支撑架传动连接，所述机械手通过所述V形薄片将晶圆抬起。