[实用新型]蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202120056058.3 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN214881795U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;轩景泉;赵军;崔建勇 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 周放 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体(1)，所述坩埚本体(1)具有多个用于盛装蒸镀材料的容腔(11)，且每个所述容腔(11)的顶部开设有开口(12)；
加热装置(2)，设置于所述坩埚本体(1)外部，能够分别加热各个所述容腔(11)；
其中，所述容腔(11)共用一个所述开口(12)。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈环形阵列设置。
3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述容腔(11)中，每两个所述容腔(11)对应设置成一组；
每组中的两个所述容腔(11)关于所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线对称设置。
4.根据权利要求2或3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线呈锐角倾斜设置。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，各个所述容腔(11)分别与所述坩埚本体(1)竖直方向的中轴线倾斜形成相同的夹角θ。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述夹角θ满足：15°≤θ≤75°。
7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括外壳(3)；
所述外壳(3)间隔套设于所述坩埚本体(1)的外部，并与所述坩埚本体(1)共同围成用于安装所述加热装置(2)的安装空间。
8.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置(2)对应设置于所述坩埚本体(1)围成所述容腔(11)的外周壁；
所述加热装置(2)包括第一加热部和第二加热部；
其中，所述第一加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述开口(12)的外周壁处，所述第二加热部设置于所述坩埚本体(1)的靠近所述容腔(11)的底部周壁处。
9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括电源和权利要求1～8中任一项所述的蒸镀坩埚；
其中，所述电源与所述加热装置(2)电连接。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括用于固定基材的固定件(4)；
所述固定件(4)能够将基材固定设置所述开口(12)的正上方，且能够带动所述基材沿水平方向转动。
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