[实用新型]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置

权利要求书

1.一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，包括压紧螺母（3）、高速喷头（4）、本体（1）及内腔体（2），其特征在于：所述的本体（1）包括导热油输入口、导热油输出口（101）、内腔（102）、加热腔（103）及电加热棒（104），所述的本体（1）外壁下部设有导热油输入口，与导热油输入口相对的本体（1）一侧上部设有导热油输出口（101）；所述的本体（1）设有夹层，且夹层为加热腔（103），所述的加热腔（103）内填充有导热油，电加热棒（104）一端延伸至所述的加热腔（103）的导热油内，所述的电加热棒（104）另一端通过螺母固定在本体（1）顶部；所述的本体（1）内部中空，且中空处为内腔（102），所述的内腔（102）内安装有内腔体（2）；所述的内腔体（2）包括顶盖（201）、密封圈A（202）、固定帽（203）、压紧弹簧（204）、过滤帽（205）及输出通道（206），所述的顶盖（201）通过密封圈A（202）与内腔体（2）顶部螺纹连接，所述的内腔体（2）内壁设有凹槽，且固定帽（203）安装在所述的凹槽内，所述的固定帽（203）顶部与顶盖（201）底部接触，固定帽（203）底部为U型槽，所述的U型槽内固定有压紧弹簧（204），所述的压紧弹簧（204）底部为过滤帽（205），所述的过滤帽（205）下部与内腔体（2）内的凹槽固定连接，过滤帽（205）底部连通有输出通道（206），且输出通道（206）设在内腔体（2）内，所述的输出通道（206）与高速喷头（4）连接，所述的高速喷头（4）通过密封圈B（5）与压紧螺母（3）连接，所述的压紧螺母（3）通过螺纹固定在本体（1）底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的密封圈A（202）及密封圈B（5）为金属密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的电加热棒（104）为2个。

4.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的过滤帽（205）为不锈钢。

5.根据权利要求1或4 所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的过滤帽（205）的过滤孔径在40微米以下。

6.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的内腔体（2）为不锈钢，且内腔体（2）内壁涂敷导热纳米涂层。

7.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的本体（1）为不锈钢。

8.根据权利要求1或7所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的本体（1）内壁涂敷导热纳米涂层。

9.根据权利要求8所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的本体（1）外壁涂敷绝热纳米涂层。

10.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其特征在于：所述的高速喷头（4）利用压电陶瓷配合柔性毛细管实现高速开合。