[实用新型]一种用于晶片成膜的数控车床夹具

权利要求书

1.一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，包括

调节机构(10)，所述调节机构(10)包括第一箱体(110)、驱动组件(120)、第一螺纹杆(130)和第一滑动组件(140)，所述驱动组件(120)包括第一电机(121)、第一圆锥齿轮(122)和第二圆锥齿轮(123)，所述第一滑动组件(140)包括第一滑杆(141)，所述第一电机(121)连接于所述第一箱体(110)内壁，所述第一圆锥齿轮(122)安装于所述第一电机(121)的输出轴，所述第二圆锥齿轮(123)啮合连接于所述第一圆锥齿轮(122)，所述第一螺纹杆(130)固定贯穿于所述第二圆锥齿轮(123)，所述第一螺纹杆(130)螺纹贯穿于所述第一滑杆(141)，所述第一滑杆(141)设置为两个对称分布；

吸附机构(20)，所述吸附机构(20)包括第二电机(210)、第二螺纹杆(220)、第二箱体(230)、第二滑动组件(240)、密封板(250)和吸盘(260)，所述第二滑动组件(240)包括第二滑板(241)和第一支架(242)，所述第二电机(210)连接于所述第一滑杆(141)一侧，所述第二箱体(230)安装于所述第一滑杆(141)另一侧，所述第二螺纹杆(220)连接于所述第二电机(210)的输出轴，所述第二螺纹杆(220)贯穿延伸至所述第二箱体(230)内部，所述第二螺纹杆(220)螺纹贯穿于所述第二滑板(241)，所述第一支架(242)安装于所述第二滑板(241)一侧，所述密封板(250)连接于所述第一支架(242)一侧，所述密封板(250)能够于所述第二箱体(230)内移动，所述密封板(250)与所述第二箱体(230)内壁过盈配合，所述吸盘(260)与所述第二箱体(230)连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述第二滑板(241)内表面开设有第二螺纹孔(243)，所述第二螺纹杆(220)与所述第二螺纹孔(243)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述第二箱体(230)内壁固定连接有第二圆杆(270)，所述第二圆杆(270)设置为两个对称分布，所述第二滑板(241)内表面开设有第二通孔(244)，所述第二圆杆(270)滑动贯穿于所述第二通孔(244)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述吸附机构(20)还包括泄压组件(280)，所述泄压组件(280)包括第二支架(281)、弹簧(282)和密封塞(283)，所述第二支架(281)连接于所述第二箱体(230)一侧，所述弹簧(282)安装于所述第二支架(281)一侧，所述密封塞(283)连接于所述弹簧(282)另一端。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述第二箱体(230)一侧开设有第四通孔(290)，所述密封塞(283)能够密封于所述第四通孔(290)。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述第二支架(281)的形状为L型，所述第一支架(242)的形状为凹型。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述调节机构(10)还包括第一圆杆(150)和加强筋(160)，所述第一圆杆(150)连接于所述第一箱体(110)内壁，所述加强筋(160)与所述第一箱体(110)内壁和所述第一电机(121)连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶片成膜的数控车床夹具，其特征在于，所述第一滑杆(141)内表面开设有第一通孔(143)，所述第一圆杆(150)能够于所述第一通孔(143)内移动。