[实用新型]一种带有余量回收处理结构的超纯氨精馏设备有效
| 申请号: | 202120006348.7 | 申请日: | 2021-01-04 |
| 公开(公告)号: | CN214597304U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 戴荣国 | 申请(专利权)人: | 江苏安瑞森电子材料有限公司 |
| 主分类号: | B01D3/30 | 分类号: | B01D3/30 |
| 代理公司: | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人: | 杨春女 |
| 地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 带有 余量 回收 处理 结构 超纯氨 精馏 设备 | ||
本实用新型公开了一种带有余量回收处理结构的超纯氨精馏设备,包括蒸馏箱、底架、集液盒以及底座,所述底架的一侧设有回收箱,且所述回收箱与底座固定连接,所述蒸馏箱的一侧底部设有电控阀,且所述电控阀与蒸馏箱通过螺钉固定连接,所述回收箱的内腔顶部的一侧设有第一液泵,且所述第一液泵与电控阀通过导管导通连接。本实用新型通过电机驱动搅动销转动搅动超纯氨液,超纯氨液受热蒸发,蒸馏加工完成后,打开电控阀,第一液泵将蒸馏箱内部剩余的超纯氨液抽送至回收箱中存放,当回收箱内存放一定量超纯氨液时,第二液泵通过L型管将超纯氨液抽送至蒸馏箱再次加工,该设备具有超纯氨液回收处理,有效地避免资源浪费。
技术领域
本实用新型涉及超纯氨加工技术领域,具体涉及一种带有余量回收处理结构的超纯氨精馏设备。
背景技术
超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,虽然超纯氨在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料,超纯氨的质量好坏直接决定发光二极管的亮度,超纯氨生产后,需要使用精馏设备提纯。
现有技术存在以下不足:现有的精馏设备对超纯氨做提纯加工处理时,不能对剩下的超纯氨液进行回收,剩余超纯氨液直接排放,造成资源的浪费。
在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种带有余量回收处理结构的超纯氨精馏设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种带有余量回收处理结构的超纯氨精馏设备,包括蒸馏箱、底架、集液盒以及底座,所述底架的一侧设有回收箱,且所述回收箱与底座固定连接,所述蒸馏箱的一侧底部设有电控阀,且所述电控阀与蒸馏箱通过螺钉固定连接,所述回收箱的内腔顶部的一侧设有第一液泵,且所述第一液泵与电控阀通过导管导通连接,所述第一液泵与回收箱固定连接;
所述回收箱的内腔顶部的另一侧设有第二液泵,且所述第二液泵与回收箱固定连接,所述回收箱的顶部固定设有L型管,且所述L型管与第二液泵导通连接,所述L型管的底端延伸至回收箱的内腔底部,所述L型管的顶端与蒸馏箱导通连接,所述蒸馏箱的内部活动设有搅动销,所述蒸馏箱的另一侧固定设有电机,且所述搅动销与电机通过输出轴传动连接,所述蒸馏箱的顶端导通设置有冷凝管,且所述冷凝管的底端延伸至集液盒的顶部。
优选的,所述蒸馏箱设置于底架的顶部,且所述蒸馏箱与底架搭接。
优选的,所述底架设置于底座的顶部,且所述底架与底座焊接。
优选的,所述集液盒设置于底座的顶部,且所述集液盒与底座搭接。
优选的,所述底座的底部两侧均固定设有脚垫,且所述脚垫设置为四个,四个所述脚垫关于底座呈中心对称分布。
优选的,所述第一液泵与回收箱通过螺钉固定连接,所述第二液泵与回收箱通过螺钉固定连接。
优选的,所述蒸馏箱的顶部一侧导通设置有进液管,所述进液管的端部设有端盖,且所述端盖与进液管螺纹连接。
在上述技术方案中,本实用新型提供的技术效果和优点:
本实用新型通过电机驱动搅动销转动搅动超纯氨液,超纯氨液受热蒸发,蒸馏加工完成后,打开电控阀,第一液泵将蒸馏箱内部剩余的超纯氨液抽送至回收箱中存放,当回收箱内存放一定量超纯氨液时,第二液泵通过L型管将超纯氨液抽送至蒸馏箱再次加工,该设备具有超纯氨液回收处理,有效地避免资源浪费。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
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