[实用新型]一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具

说明书

本实用新型公开了一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具，涉及半导体清洗设备技术领域。包括：底座，所述底座上表面开设有用于放置芯片的多个盲孔，每个所述盲孔的底部开设有通孔，每个盲孔底部与相应通孔的连通处沿内壁周向设有倾斜向上的斜面；每个所述通孔的下端口直径大于上端口直径；手持杆，设置于所述底座上。本实用新型通过在每个盲孔与其底部连通的通孔之间沿内周向设有斜面，能够有效将CWDM单粒芯片表面清洗后的残留快速的导入通孔内，并排至底座下方，从而避免CWDM单粒芯片表面残留的清洗液，对CWDM单粒芯片表面再次污染。

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，特别涉及一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具。

背景技术

CWDM是指信道之间的波长间隔较大的一种波分复用，即人们所称的粗波分复用。在CWDM单粒芯片的生产过程中，芯片外形尺寸小、端面不易清洗干净、极易二次污染。目前，通常将CWDM单粒芯片置于板体上或培养皿中，对其进行清洗，但是，不能很好装取CWDM单粒芯片，影响清洗质量及效率。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中存在的不足，本实用新型提供一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具，通过在每个盲孔与其底部连通的通孔之间沿内周向设有斜面，能够有效将CWDM单粒芯片表面清洗后的残留快速的导入通孔内，并排至底座下方，从而避免了CWDM单粒芯片表面残留的清洗液，对CWDM单粒芯片表面再次污染。

本实用新型提供的一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具，包括：

底座，所述底座上表面开设有用于放置芯片的多个盲孔，每个所述盲孔的底部开设有通孔，每个盲孔底部与相应通孔的连通处沿内壁周向设有倾斜向上的斜面；每个所述通孔的下端口直径大于上端口直径；

手持杆，设置于所述底座上。

进一步，所述斜面与所述盲孔底面的角度为45°。

进一步，每个所述通孔的内侧面与所述下端口面的角度为45°。

进一步，还包括：

多个支撑螺钉，均设置于所述底座的底面上。

进一步，所述底座的底面四角处均开设有螺纹孔，每个所述螺纹孔上螺接有支撑螺钉。

进一步，所述手持杆与所述底座上表面的几何中心螺纹连接。

更进一步，所述手持杆的端面上连接有螺杆，所述底座上开设有与所述螺杆相匹配的螺纹通孔，所述螺杆螺接于所述螺纹通孔内。

更进一步，所述螺杆的直径小于所述手持杆的直径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具，通过在每个盲孔与其底部连通的通孔之间沿内周向设有斜面，能够有效将CWDM单粒芯片表面清洗后的残留快速的导入通孔内，并排至底座下方，从而避免了CWDM单粒芯片表面残留的清洗液，对CWDM单粒芯片表面再次污染。

本实用新型提供的CWDM单粒芯片清洗夹具加工成本低，设计合理，合理选用底座材质，避免损伤CWDM单粒芯片，另外可通过调整底座盲孔直径、深度方向尺寸适应不同CWDM单粒芯片大小，操作简单，装取快速，维护方便。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具结构示意图。

图2为本实用新型提供的一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具截面结构示意图。

图3为本实用新型提供的一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具底座的上表面结构示意图。

图4为本实用新型提供的一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具底座的底面结构示意图。