[发明专利]基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法

说明书

本发明公开了基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法，抛光系统包括机械手、公转模块、自转模块和加工台模块；公转模块包括大电机和装夹盘，该大电机装接在机械手，该装夹盘装接在大电机且通过大电机带动装夹盘转动；若干自转模块周向间隔装设在装夹盘，该自转模块包括小电机和抛光盘，该小电机装接在装夹盘上，该抛光盘装接在小电机且通过小电机带动抛光盘转动；加工台模块包括能装夹高世代线玻璃基板的加工台，通过抛光盘抛光高世代线玻璃基板。它具有如下优点：抛光盘通过小电机实现自转，通过大电机实现公转，再通过机械手带动实现抛光加工，此多抛光头机构可以提升单次加工面积，从而大幅提升抛光效率。

技术领域

本发明涉及高世代线玻璃基板基板抛光技术领域，尤其涉及基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法。

背景技术

高世代线玻璃基板由于尺寸更大，可切割的大尺寸液晶面板多，因此生产效益高，可以节约材料成本，提高材料供给结构的适应性和灵活性。玻璃基板的制作方法主要有美国康宁公司主导的溢流法和日本旭硝子公司主导的浮法。浮法技术生产的大面积玻璃基板成本较低，但所产玻璃的锡面需进行研磨抛光。中国建材集团采用浮法工艺于2019年6月在蚌埠实现了首片8.5代TFT-LCD玻璃基板下线，并进入良率提升、产能爬坡和产品认证阶段。但目前这一路径还存在诸多瓶颈难题，其中玻璃表面在线高精度研磨设备就是其中一个很大的难点。尽管目前我国已经成为继美国、日本之后，全球第三个掌握高世代TFT-LCD玻璃基板生产技术的国家，但市场占比仍需努力提高。要打破高世代线玻璃基板基板市场的国外垄断局面，还需解决包括后续精密加工等在内的各种技术难题。

目前的高世代线玻璃基板研磨抛光加工主要是利用传统卧式机床，通过加大卧式机床的尺寸，来实现更大尺寸的高世代线玻璃基板的加工。如CN109015313B提供的一种高世代平板显示玻璃抛光机及其加工玻璃的方法中的抛光机采用整体卧式机床结构，它所能加工的高世代线玻璃基板基板尺寸将受限于机床尺寸，当要加工更大尺寸高世代线玻璃基板时，需要重新搭建整套设备，设备灵活性差。

发明内容

本发明提供了基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法，其克服了背景技术中高世代线玻璃基板研磨抛光机床所存在的不足。

本发明解决其技术问题的所采用的技术方案之一是：基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统，包括：

机械手；

一公转模块，包括大电机和装夹盘，该大电机装接在机械手，该装夹盘装接在大电机且通过大电机带动装夹盘转动；

若干自转模块，周向间隔装设在装夹盘，该自转模块包括小电机和抛光盘，该小电机装接在装夹盘上，该抛光盘装接在小电机且通过小电机带动抛光盘转动；及

加工台模块，包括能装夹高世代线玻璃基板的加工台，通过抛光盘抛光高世代线玻璃基板。

一实施例之中：该机械手具有第六轴，该大电机通过法兰盘装接在机械手的第六轴末端，该装夹盘装接在大电机主轴且装夹盘和大电机主轴间设六维力矩传感器。

一实施例之中：该机械手和六维力矩传感器信号连接。

一实施例之中：该加工台模块还包括操作界面，该加工台为自动调平加工台，该操作界面连接自动调平加工台。

一实施例之中：该加工台模块还包括底座和角度传感器，该自动调平加工台设在底座上且底座内设调平机构，该调平机构连接自动调平加工台，该角度传感器连接自动调平加工台，该操作界面信号连接角度传感器。

一实施例之中：还包括：

抛光液循环装置，包括过滤腔体、设在过滤腔体内的过滤器、设在加工台模块且朝加工台喷射的喷射嘴和设于加工台模块的回收口，该过滤腔体和喷射嘴间设进液管，该过滤腔体和回收口间设回收管。