[发明专利]用于泄漏检测的压力参考装置、装配方法及压力传感器

权利要求书

1.一种用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，包括压力参考腔(1)、进压组件和加压组件；所述压力参考腔(1)的一端开口，所述进压组件包括外壳(2)、顶针(6)和调节块(5)，所述外壳(2)的一端开口与所述压力参考腔(1)的开口部对接，所述外壳(2)的另一端设有小孔，所述调节块(5)位于所述外壳(2)内部且设有通气孔，所述顶针(6)的一端与所述调节块(5)相连，另一端则位于所述小孔内，所述顶针(6)于小孔的一端设置有凸环，所述调节块(5)与凸环之间的顶针(6)上套设有弹簧(7)，所述凸环与小孔之间的顶针(6)上套设有密封件(8)；所述加压组件包括壳套(3)和柱塞(4)，所述壳套(3)与所述外壳(2)连接，所述柱塞(4)的一端密封设于外壳(2)内部，另一端则经壳套(3)伸出；所述柱塞(4)的中部设有柱塞孔，所述柱塞(4)于外壳(2)内部的一端设置有凸台，所述凸台的端部与所述顶针(6)的另一端相抵，所述凸台的周侧设置与所述柱塞孔相连通的导气孔。

2.根据权利要求1所述的用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述外壳(2)的内部设置有内螺纹，所述调节块(5)与所述内螺纹螺纹连接，用于调节所述弹簧(7)的压力。

3.根据权利要求2所述的用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述调节块(5)的中部设置有通孔，所述顶针(6)的一端位于所述通孔内。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述柱塞(4)位于所述外壳(2)的一端的周侧设置有密封圈(9)，用于与所述外壳(2)的内壁相密封。

5.根据权利要求1或2或3所述的用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述外壳(2)另一端的外侧设置有外螺纹，所述壳套(3)的内侧与所述外壳(2)的外螺纹螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述外壳(2)另一端的外侧设置有坡口。

7.根据权利要求1或2所述用于泄漏检测的压力参考装置，其特征在于，所述外壳(2)的一端开口与所述压力参考腔(1)的开口通过焊接方式对接。

8.一种压力传感器，其特征在于，包括如权利要求1～7中任意一项所述的用于泄漏检测的压力参考装置。

9.一种如权利要求1～7中任意一项所述的用于泄漏检测的压力参考装置的装配方法，其特征在于，包括步骤：

进压组件的装配：先在顶针(6)的另一端套上密封件(8)，然后整体放入外壳(2)内，顶针(6)另一端插入外壳(2)前部的小孔中；接着在顶针(6)中部套上弹簧(7)，最后拧入调节块(5)，调节好压力；

进压组件的焊接：进压组件整体装配完成后，通过激光焊接或者电子束焊接的方式将外壳(2)一端开口焊接在压力参考腔(1)的开口部；

加压组件的装配：将壳套(3)与外壳(2)相连，从而使得柱塞(4)伸入至外壳(2)内部并与顶针(6)的端部相抵；

压力加注：通过柱塞(4)将顶针(6)推离初始位置，保证外壳(2)内部和柱塞(4)的气路相通；然后进行压力加注，当压力稳定后，将壳套(3)与外壳(2)松开，在松开的过程中，柱塞(4)对顶针(6)的推力减小，顶针(6)在弹簧(7)的反作用力下向外部移动，最终顶针(6)头部的密封件(8)受弹簧(7)的反作用力密封住小孔，压力加注完成。

10.根据权利要求9所述的用于泄漏检测的压力参考装置的装配方法，其特征在于，在压力加注后，再进行小孔的焊接：对顶针(6)端头与小孔之间进行激光焊接或者电子束焊接。