[发明专利]磁场传感器、制作工艺及其磁场检测方法

权利要求书

1.一种磁场检测方法，其特征在于，所述磁场检测方法包括以下步骤：

制作样本磁场传感器，其中所述样本磁场传感器中的磁感应器件为霍尔棒结构；

对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，分别标定所述磁感应器件的霍尔电阻与各分量磁场强度的标准变化曲线；

将磁性单元与所述磁感应器件集成得到磁场传感器；

检测所述磁场传感器的实测霍尔电阻，根据所述实测霍尔电阻查询对应的所述标准变化曲线，确定所述磁性单元的各实测分量磁场强度。

2.如权利要求1所述的磁场检测方法，其特征在于，所述分量磁场强度包括x方向的Hx、y方向的Hy和z方向的Hz，所述霍尔电阻包括所述y方向的Rxy和所述x方向的Ryx，所述标准变化曲线包括Rxy-Hx曲线和Ryx-Hy曲线，以及Rxy-Hz曲线和/或Ryx-Hz曲线，其中，所述x方向和所述y方向与所述磁感应器件共面，所述x方向、所述y方向和所述z方向互相垂直，所述对所述样本磁场传感器施加不同方向的扫描磁场，分别标定所述样本磁场传感器的霍尔电阻与各分量磁场强度的标准变化曲线的步骤包括：

对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，分别标定所述磁感应器件的所述Rxy-Hx曲线和所述Ryx-Hy曲线，以及所述Rxy-Hz曲线和/或所述Ryx-Hz曲线。

3.如权利要求2所述的磁场检测方法，其特征在于，所述预设方向包括x方向，所述对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，标定所述磁感应器件的所述Rxy-Hx曲线的步骤包括：

在所述磁感应器件中沿所述x方向通入预设电流，并沿所述x方向施加第一扫描磁场，检测得到所述第一扫描磁场的各Hx对应的第一Rxy，得到Rxy-Hx曲线。

4.如权利要求2所述的磁场检测方法，其特征在于，所述预设方向包括y方向，所述对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，标定所述磁感应器件的所述Ryx-Hy曲线的步骤包括：

在所述磁感应器件中沿所述y方向通入预设电流，并沿所述y方向施加第二扫描磁场，检测得到所述第二扫描磁场的各Hy对应的第一Ryx，得到Ryx-Hy曲线。

5.如权利要求2所述的磁场检测方法，其特征在于，所述预设方向包括z方向，所述对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，标定所述磁感应器件的所述Rxy-Hz曲线的步骤包括：

在所述磁感应器件中沿所述x方向通入预设电流，并沿所述z方向施加第三扫描磁场，检测得到所述第三扫描磁场的各Hz对应的第二Rxy，得到Rxy-Hz曲线。

6.如权利要求2所述的磁场检测方法，其特征在于，所述预设方向包括z方向，所述对所述样本磁场传感器施加预设方向的扫描磁场，标定所述磁感应器件的所述Ryx-Hz曲线的步骤包括：

在所述磁感应器件中沿所述y方向通入预设电流，并沿所述z方向施加第四扫描磁场，检测得到所述第四扫描磁场的各Hz对应的第二Ryx，得到Ryx-Hz曲线。