[发明专利]一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法及系统

权利要求书

1.一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤S1，设置可调激光器的扫描参数，并依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；

步骤S2，多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；

步骤S3，可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；

步骤S4，服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。

2.根据权利要求1所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，其特征在于，所述步骤S1中的设置可调激光器的扫描参数包括设置可调激光器的起始波长、终止波长和扫描步距。

3.根据权利要求2所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括以下步骤：

步骤S31，各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；

步骤S32，当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。

4.根据权利要求3所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试方法，其特征在于，所述步骤S4具体包括以下步骤：

步骤S41，服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；

步骤S42，依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。

5.一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，其特征在于，所述系统包括：

设置模块，用于设置可调激光器的扫描参数；

计算模块，用于依据所述扫描参数计算出工位的采集点数；

标志数据插入模块，用于多个工位功率计发送指令至服务器，服务器接收指令后向各个工位功率计插入一个标志数据；

采集模块，用于可调激光器和各个工位功率计依据各自的标志数据和工位采集点数对平面波导芯片进行功率采集，并将采集到的功率发送至服务器中；

处理模块，用于服务器依据标志数据进行数据处理，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。

6.根据权利要求5所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，其特征在于，所述设置模块包括：

第一设置模块，用于设置可调激光器的起始波长；

第二设置模块，用于设置可调激光器的终止波长；

第三设置模块，用于设置可调激光器的扫描步距。

7.根据权利要求6所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，其特征在于，所述采集模块包括：

同步模块，用于各个工位功率计依据各自的标志数据与可调激光器进行同步，并开始对平面波导芯片进行功率采集；

结束模块，用于当工位功率计实时采集的点数与工位采集点数一致时，结束该工位功率计与可调激光器的同步，完成功率采集。

8.根据权利要求7所述的一种用于平面波导芯片的多工位并行扫描测试系统，其特征在于，所述处理模块包括：

第一处理模块，用于服务器依据各自的标志数据，得到各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率；

第二处理模块，用于依据各个工位的起始波长对应的功率和结束波长对应的功率，得到各个工位的芯片光谱图，从而实现多工位并行扫描测试。