[发明专利]一种氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统在审
申请号: | 202111667967.1 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114351147A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 萧作平;冯伟;胡毅;肖引 | 申请(专利权)人: | 广东臻鼎环境科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 曹萌 |
地址: | 516000 广东省惠州市东江高新区东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氯气 全自动 安全 高效 再生 酸性 蚀刻 系统 | ||
1.一种氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,包括蚀刻系统单元、参数检测系统、物料添加系统、废液自动收集系统、废液电解系统、再生液自动回用系统、中央控制系统和报警控制系统;
所述蚀刻系统单元用于对线路板铜箔进行蚀刻,产生蚀刻废液;
所述参数检测系统包括氧化剂检测系统、比重检测系统、盐酸检测系统,所述参数检测系统用于检测所述蚀刻系统工作中参数值,并向所述物料添加系统发出信号;
所述物料添加系统包括氯酸钠添加系统、盐酸添加系统、再生液添加系统、氯气自动控制系统,所述物料添加系统用于接收所述参数检测系统发出的信号,并根据设置的各参数阈值添加相应的物料;
所述废液自动收集系统包括溢流装置、废液收集中转槽、蚀刻废液收集槽,所述蚀刻系统单元工作过程中产生的蚀刻废液通过溢流装置控制总量进入废液收集中转槽,再转移到蚀刻废液收集槽;
所述废液电解系统包括电解槽,所述电解槽与直流电源连接,所述废液自动收集系统中的蚀刻废液进入电解槽中通过电解在阴极形成铜板,在阳极产生氯气进入氯气自动控制系统,所述氯气自动控制系统通过连续破碎射流装置与所述蚀刻系统单元中的蚀刻液进行原位反应,所述废液电解系统中在电解的过程中蚀刻废液中铜离子浓度低于15-80g/L时排出;
所述再生液自动回用系统用于接收废液电解系统排出的电解液体并通过补充氯化钠或氯化铵进行蚀刻液的再生进入所述再生液添加系统;
所述中央控制系统用于对包括蚀刻系统单元、废液电解系统、再生液自动回用系统、物料添加系统的信号集中接收和发出;
所述报警控制系统包括高液位报警、氯气检测报警,所述报警控制系统用于对上述各个系统具有较大安全风险的单元增加报警检测设备,当触发报警信号,立即关闭对应系统单元和关联系统单元,以保证整个系统安全、稳定运行。
2.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述氧化剂检测系统用于检测所述蚀刻系统单元的氧化还原电位值并将信号传输至所述氯酸钠添加系统,通过再生液添加系统添加氯酸钠维持所述蚀刻系统单元的氧化还原电位值平衡。
3.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述氧化剂检测系统用于检测所述蚀刻系统单元的氧化还原电位值并将信号传输至所述氯气自动控制系统,通过再生液添加系统添加氯气维持所述蚀刻系统单元的氧化还原电位值平衡。
4.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述比重检测系统用于检测所述蚀刻系统单元的比重值并将信号传输至所述再生液添加系统,通过再生液添加系统添加再生液维持所述蚀刻系统单元的比重值平衡。
5.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述盐酸检测系统用于检测所述蚀刻系统单元的酸度并将信号传输至所述盐酸添加系统,通过盐酸添加系统添加盐酸维持所述蚀刻系统单元的酸度平衡。
6.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述参数检测系统还包括温度检测、压力检测。
7.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述废液收集中转槽内设置高低液位控制计和报警控制器。
8.根据权利要求1所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述电解槽包括阳极(1)、离子膜(4)、阴极,所述阳极(1)以钛作为基材表面涂钌或者铱合钌涂层制成,所述阴极为金属钛制成。
9.根据权利要求8所述的氯气全自动安全高效再生酸性蚀刻液系统,其特征在于,所述电解槽的阳极(1)采用隔膜板框(301)包围,离子膜(4)与隔膜板框(301)形成密封盒(3),隔膜板框(301)浸没在液面下5-10mm,隔膜板框(301)一侧开孔与氯气管道(2)连通。
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