[发明专利]紫外灯预处理方法、预处理装置以及紫外灯固化工艺系统在审

专利信息
申请号: 202111662037.7 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114300341A 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 汤雨竹;藤天娇 申请(专利权)人: 拓荆科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67;C23C16/56
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 陕芳芳
地址: 110170 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 紫外 预处理 方法 装置 以及 固化 工艺 系统
【权利要求书】:

1.紫外灯预处理方法,其特征在于,设定紫外灯光强的预设波动范围,并检测所述紫外灯的光强,当所述紫外灯的光强的波动范围处于所述预设波动范围内,则警示紫外灯预处理完毕。

2.根据权利要求1所述的紫外灯预处理方法,其特征在于,当紫外灯的光强的波动范围处于所述预设波动范围内,则控制所述紫外灯关闭。

3.根据权利要求1所述的紫外灯预处理方法,其特征在于,控制紫外灯按照反复多次开、关,并检测所述紫外灯的光强。

4.根据权利要求1-3任一项所述的紫外灯预处理方法,其特征在于,所述紫外灯设置在工作位置,所述紫外灯的光强的波动范围处于所述预设范围内后,直接进行所述紫外灯的使用;或者,所述紫外灯的光强的波动范围处于所述预设范围内后,将所述紫外灯安装到所述工作位置进行使用。

5.紫外灯预处理装置,其特征在于,包括检测组件、警示装置以及控制模块,所述控制模块设定所述紫外灯光强的预设波动范围,所述检测组件用于检测所述紫外灯的光强并传输至所述控制模块,所述控制模块根据检测的光强判断所述紫外灯的光强的波动范围处于所述预设波动范围内,则控制所述警示装置输出警示信号。

6.根据权利要求5所述的紫外灯预处理装置,其特征在于,还包括控制所述紫外灯开、关的开关装置,所述控制模块判断所述紫外灯的光强的波动范围处于所述预设波动范围内,则控制所述开关装置关闭。

7.根据权利要求5所述的紫外灯预处理装置,其特征在于,还包括定时开关装置,所述定时开关装置控制所述紫外灯反复多次开、关,所述检测组件检测反复多次开、关过程中所述紫外灯的光强。

8.根据权利要求5所述的紫外灯预处理装置,其特征在于,所述紫外灯预处理装置包括灯罩,所述紫外灯设置在所述灯罩内部,所述紫外灯预处理装置还包括设置在所述灯罩下方的箱体,所述灯罩的下端开口与所述箱体相通,或所述灯罩与所述箱体之间设置透明隔板,所述检测组件设于所述箱体内。

9.紫外灯固化工艺系统,包括第一腔体结构和第二腔体结构,所述第一腔体结构内设有紫外灯,所述第二腔体结构内用于装载待处理部件,所述紫外灯用于照射所述待处理部件,其特征在于,还包括权利要求5-8任一项所述的紫外灯预处理装置,且所述紫外灯预处理装置的所述检测组件设置在所述第二腔体结构内。

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