[发明专利]利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法及装置在审

专利信息
申请号: 202111652252.9 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114332029A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 庄均珺;陈旭;王艳生;魏峥颖 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06V10/40;G06V10/774;G06V10/764;G06V10/80;G06V10/82;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 周耀君
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 利用 神经网络 模型 异常 图像 进行 分类 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,包括如下步骤:

步骤S1,从数据库获取异常晶背图像进行标记,构建训练集、测试集以及验证集;

步骤S2,利用神经网络模型构建晶背图像分类模型,利用训练集中的训练样本对所构建的晶背图像分类模型进行训练,生成可快速准确识别有异常的晶背缺陷图的晶背图像分类模型;

步骤S3,获取实际线上的晶背图像,将其输入到训练好的晶背图像分类模型进行分类,输出分类结果。

2.如权利要求1所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于:于步骤S2中,基于Faster RCNN网络构建所述晶背图像分类模型。

3.如权利要求2所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于:所构建的晶背图像分类模型包括卷积神经网络、RPN网络、ROIpooling层以及分类层。

4.如权利要求3所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于,步骤S2进一步包括:

步骤S200,利用神经网络模型构建晶背图像分类模型,;

步骤S201,将训练集中作为训练样本的晶背图像输入到所述晶背图像分类模型,经所述卷积神经网络进行特征提取,输出每张图像的特征图;

步骤S202,将提取的特征图输入到RPN网络与ROI pooling层两个分支,其中一个分支利用RPN网络生成Anchor box,对其进行裁剪过滤后通过softmax函数判断anchors属于前景或者后景,同时利用边框回归修正anchor box,形成较精确的候选探测框,另一个分支将特征图输入到ROI pooling层,同时ROI pooling层接收RPN层得到的候选探测框信息,结合两者提取候选探测框所对应位置的特征图;

步骤S203,利用探测分类概率和探测边框回归对分类概率和边框回归联合训练,最后输出边界盒的位置及缺陷类别。

5.如权利要求4所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于,于步骤S1之后,还包括如下步骤:

对标记好的样本进行扩增。

6.如权利要求5所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于,对标记好的训练样本进行扩增可采用旋转、翻转或多张图合成方式。

7.如权利要求5所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于:于步骤S201中,所述卷积神经网络采用残差网络resnet,在残差网络resnet最后一个block运用可变形卷积。

8.如权利要求7所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于:于步骤S201中,在进行特征提取时还运用特征金字塔网络FPN进行特征融合。

9.如权利要求8所述的一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的方法,其特征在于:于步骤S203中,利用soft-nms算法对该些候选探测框进行融合,以提高候选探测框的位置准确率。

10.一种利用神经网络模型对异常晶背图像进行分类的装置,包括:

训练图像集生成单元,用于从数据库获取异常晶背图像进行标记,,构建训练集、测试集以及验证集;

晶背图像分类模型构建及训练单元,用于利用神经网络模型构建晶背图像分类模型,利用训练集中的训练样本对所构建的晶背图像分类模型进行训练,生成可快速准确识别有异常的晶背缺陷图的晶背图像分类模型;

晶背图像分类单元,用于获取实际线上的晶背图像,将其输入到训练好的晶背图像分类模型进行分类,输出分类结果。

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