[发明专利]双面雪崩光电二极管及其制备方法

权利要求书

1.一种双面雪崩光电二极管，其特征在于，包括第一类型衬底、第一PN结、第二PN结、第一类型电连接部、第二类型电连接部、第一类型连接部、第二类型连接部、防反射层、光入射口和反射层；

所述第一类型衬底具有第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面位于所述第一类型衬底的厚度方向的相对两侧，所述第一类型衬底具有沿所述第一类型衬底的厚度方向延伸的中心区；

所述第一PN结和所述第二PN结沿所述第一类型衬底的厚度方向间隔分布于所述中心区中，所述第一PN结位于所述中心区的靠近所述第一表面的一侧，所述第二PN结位于所述中心区的靠近所述第二表面的一侧，且所述第一PN结和所述第二PN结均包括电性连接的第一类型区和第二类型区；

所述第一类型电连接部和所述第二类型电连接部间隔分布于所述第一类型衬底中，且所述第一类型电连接部和所述第二类型电连接部均靠近所述第一类型衬底的沿厚度方向的表面；

所述第一类型连接部和所述第二类型连接部均形成于所述第一类型衬底中，所述第一类型连接部电性连接所述第一类型区和所述第一类型电连接部，所述第二类型连接部电性连接所述第二类型区和所述第二类型电连接部；

所述防反射层覆盖所述第一表面，并形成所述光入射口；

所述反射层至少覆盖位于所述中心区的所述第二表面。

2.根据权利要求1所述的双面雪崩光电二极管，其特征在于，所述第一PN结的第二类型区位于所述第一PN结的靠近所述第一表面的一侧，所述第二PN结的第二类型区位于所述第二PN结的靠近所述第二表面的一侧；

所述第一类型连接部和所述第二类型连接部均围绕所述中心区的至少部分外周，且至少部分所述第一类型连接部位于所述第二类型连接部的远离所述中心区的一侧。

3.根据权利要求2所述的双面雪崩光电二极管，其特征在于，所述第一类型电连接部和所述第二类型电连接部均位于所述第一类型衬底的靠近所述第一表面的一侧；

所述第一类型电连接部和所述第二类型电连接部均为围绕所述中心区的环形结构，所述第一类型电连接部位于所述第二类型电连接部的远离所述中心区的一侧。

4.根据权利要求3所述的双面雪崩光电二极管，其特征在于，所述第一类型连接部包括第一整体围绕部和形成于所述第一整体围绕部上的轴向开口，所述第二类型连接部包括第一连接部、第二连接部和轴向连接部；

所述第一整体围绕部围绕所述中心区的两个所述PN结之间的所述第一类型衬底的至少部分厚度的外周，所述轴向开口沿所述第一类型衬底的厚度方向贯穿所述第一整体围绕部；

所述第一连接部至少围绕位于所述第一PN结处的所述中心区的外周，所述第二连接部至少围绕于位于所述第二PN结处的所述中心区的外周，所述轴向连接部位于所述轴向开口中，并电性连接所述第一连接部和所述第二连接部；

或，

所述第二类型连接部包括第二整体围绕部和形成于所述第二整体围绕部上的径向开口，所述第一类型连接部包括环形部和径向连接部；

所述第二整体围绕部围绕所述中心区的外周，所述径向开口连通位于所述中心区的两个所述PN结之间的所述第一类型衬底和所述第二整体围绕部的外周；

所述环形部围绕位于所述径向开口处的所述第二整体围绕部的外周，所述径向连接部位于所述径向开口中，并电性连接所述中心区的两个PN结之间的所述第一类型衬底和所述环形部。

5.根据权利要求3或4所述的双面雪崩光电二极管，其特征在于，还包括第一类型辅助连接部，所述第一类型辅助部形成于所述第一类型衬底的靠近所述第一表面的一侧，所述第一类型辅助连接部电性连接所述第一类型连接部和所述第一类型电连接部。

6.根据权利要求2-4任一项所述的双面雪崩光电二极管，其特征在于，还包括电引出端，所述第一类型电连接部和所述第二类型电连接部均各自连接有一个所述电引出端，所述第一类型电连接部的所述电引出端和所述第二类型电连接部的所述电引出端电性隔离。