[发明专利]一种光刻胶树脂单体的制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下合成路线：

其中，X为卤素原子，R₁、R₂和R₃分别选自氢原子或C₁～C₆烷基；

所述制备方法包括如下步骤：

a)将式Ⅲ化合物、缚酸剂、阻聚剂溶于有机溶剂中，滴加式Ⅱ化合物，经酯化反应，纯化，得到式Ⅰ光刻胶树脂单体。

2.如权利要求1所述的光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：

a1)所述X为氯原子；

a2)所述R₃选自氢原子或甲基；

a3)所述R₁和R₂分别选自氢原子、甲基或乙基；

a4)所述缚酸剂选自2，6-二甲基吡啶、2，6-二甲基苯胺和三乙胺中的一种；

a5)所述阻聚剂选自4-甲氧基酚、抗氧剂264和对苯二酚中的一种；

a6)所述有机溶剂选自二氯甲烷或二氯乙烷；

a7)所述式Ⅲ化合物、式Ⅱ化合物和缚酸剂摩尔比为1：(2.5～3.5)：(3.5～4.5)。

3.如权利要求1所述的光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述式Ⅰ化合物的滴加温度为0～5℃。

4.如权利要求1所述的光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述反应包括两个阶段，第一阶段的反应的温度为0～5℃，反应的时间为0.5～2h；

第二阶段的反应的温度为25～30℃，反应的时间为3～5h。

5.如权利要求1所述的光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述制备方法的纯化包括如下步骤：

b)将反应后的反应液加水淬灭，待混合溶液分层为第一水相和第一有机相；

c)第一水相经萃取后，得第二水相和第二有机相；

d)第一有机相和第二有机相合并，经水洗、旋蒸后，得到粗品；

e)在所述粗品中加入甲醇，加热并过滤除去不溶物得到第一滤饼和第一滤液；

f)在第一滤液中加入正己烷，降温，然后再次过滤，得到第二滤饼和第二滤液；

g)第二滤液减压烘干，得到式Ⅰ所述光刻胶树脂单体。

6.如权利要求5所述的光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述纯化步骤还包括如下技术特征中的一项：

c1)步骤c)中，第一水相的萃取液为二氯甲烷；

d1)步骤d)中，旋蒸的温度为5～40℃；

d2)步骤d)中，旋蒸直至无液滴滴下后，用油泵拉干，得到粗品；

e1)步骤e)中，所述粗品和甲醇的质量比为1：(1～1.5)；

e2)步骤e)中，所述加热的温度为40～50℃；

f1)步骤f)中，滤液与正己烷的质量比为1：(2～3)；

f2)步骤f)中，降温的温度为0℃；

g1)步骤g)中，所述减压烘干的温度为35～45℃，压力为0.5～1.0mmHg)，时间为2～4h。