[发明专利]一种新型的真空密封门板结构

说明书

本发明公开了一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔与传输腔，所述传输腔的底部安装有安装底座，所述安装底座的底部定位连接有基座，所述基座的前端定位安装有驱动装置，所述反应腔的前端开设有一号密封槽、二号密封槽与腔口，所述传输腔位于反应腔的前端位置，所述腔口的中部开设有封口，所述传输腔内侧靠近封口的位置安装有固定门板，所述传输腔的底部开设有槽体，所述驱动装置上端设置有驱动缸。本发明所述的一种新型的真空密封门板结构，由驱动装置控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封，不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑，此外，维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件。

技术领域

本发明涉及真空密封门板领域，特别涉及一种新型的真空密封门板结构。

背景技术

真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构，现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面，为了减小密封圈的磨损，门板位移主要可分为以下几种形式：通过翻转门板来实现此功能；先水平移动门板再竖直移动门板；先水平移动门板再倾斜移动门板，随着科技的不断发展，人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。

现有的真空密封门板结构在使用时存在一定的弊端，方案结构较为复杂且需要较大的安装空间才能实现其功能，故而限制了其在真空反应腔室中的应用，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种新型的真空密封门板结构。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种新型的真空密封门板结构，由驱动装置直接控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封，不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑，此外，维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件，可以有效解决背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔与传输腔，所述传输腔的底部安装有安装底座，所述安装底座的底部定位连接有基座，所述基座的前端定位安装有驱动装置，所述反应腔的前端开设有一号密封槽、二号密封槽与腔口，所述传输腔位于反应腔的前端位置，所述腔口的中部开设有封口。

作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔内侧靠近封口的位置安装有固定门板，所述传输腔的底部开设有槽体，所述驱动装置上端设置有驱动缸，且驱动缸穿过槽体的位置并连接连接轴。

作为本申请一种优选的技术方案，所述固定门板的底部设置有导向柱，所述固定门板的内侧设置有密封腔，所述导向柱的下端设置有移动门板，所述移动门板两端连接导向柱的位置分别设置有一号通孔与二号通孔，所述移动门板的外侧安装有定位器，所述定位器与连接轴连接，所述移动门板的内侧开设有密封安装槽，所述密封安装槽的内侧设置有空间形密封圈，所述空间形密封圈的两端设置有密封环形圈。

作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔的底部位于槽体的位置安装有连接轴密封单元，且连接轴密封单元位于连接轴的外壁。

作为本申请一种优选的技术方案，所述反应腔与传输腔之间进行定位安装，所述传输腔的底部通过安装底座与基座的上端进行定位安装，所述基座与驱动装置之间进行定位安装。

作为本申请一种优选的技术方案，所述驱动装置驱动驱动缸带动连接轴上下活动，所述固定门板与传输腔之间定位安装。

作为本申请一种优选的技术方案，所述定位器由连接轴驱动上下活动，带动移动门板上下活动，所述移动门板通过导向柱在固定门板的底部位置进行上下活动，所述移动门板与固定门板叠合时，所述空间形密封圈与密封腔之间进行密封。

作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔与连接轴密封单元之间定位安装，所述连接轴密封单元对连接轴上下活动进行限位。

(三)有益效果