[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 202111645406.1 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114335023A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 朱亚威;曹鑫;杨帆;王子峰;樊浩原;李仁佑 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 雷思鸣 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板(10)包括:
衬底基板(101);
以及,位于所述衬底基板(101)的一侧的氧化物薄膜晶体管(102),第一绝缘层(103)和第二绝缘层(104),所述氧化物薄膜晶体管(102)包括:第一栅极(1021),氧化物层(1022),第一源极(1023)和第一漏极(1024);
其中,所述第一栅极(1021)位于所述衬底基板(101)的一侧,所述第一绝缘层(103)位于所述第一栅极(1021)远离所述衬底基板(101)的一侧,所述氧化物层(1022)位于所述第一绝缘层(103)远离所述衬底基板(101)的一侧,所述第二绝缘层(104)位于所述氧化物层(1022)远离所述衬底基板(101)的一侧,所述第一源极(1023)和所述第一漏极(1024)间隔设置,且均位于所述第二绝缘层(104)远离所述衬底基板(101)的一侧,所述第一源极(1023)通过所述第二绝缘层(104)中的第一过孔与所述氧化物层(1022)连接,所述第一漏极(1024)通过所述第二绝缘层(104)中的第二过孔与所述氧化物层(1022)连接。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述氧化物层(1022)的材料为铟镓锌氧化物。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板(10)还包括:位于所述衬底基板(101)的一侧的低温多晶硅薄膜晶体管(105),第三绝缘层(106)以及第四绝缘层(107);所述低温多晶硅薄膜晶体管(105)包括:有源层(1051),第二栅极(1052),第二源极(1053)和第二漏极(1054);
所述有源层(1051),所述第三绝缘层(106),所述第二栅极(1052)以及所述第四绝缘层(107)沿远离所述衬底基板(101)的方向依次层叠,所述第二源极(1053)和所述第二漏极(1054)间隔设置,且均与所述有源层(1051)连接。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述第一栅极(1021)位于所述第四绝缘层(107)远离所述衬底基板(101)的一侧,所述第二源极(1053),所述第二漏极(1054),所述第一源极(1023)和所述第一漏极(1024)位于同层;
所述第一绝缘层(103),所述第二绝缘层(104),所述第三绝缘层(106)以及所述第四绝缘层(107)中具有第三过孔和第四过孔,所述第二源极(1053)通过所述第三过孔与所述有源层(1051)连接,所述第二漏极(1054)通过所述第四过孔与所述有源层(1051)连接。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板(10)还包括:沿远离所述第一源极(1023)的方向依次层叠的第五绝缘层(108),连接层(109),第六绝缘层(110),阳极层(111)以及像素界定层(112);
所述连接层(109)通过所述第五绝缘层(108)中的第五过孔与所述第二漏极(1054)连接,所述阳极层(111)通过所述第六绝缘层(110)中的第六过孔与所述连接层(109)连接,所述像素界定层(112)具有镂空区域,所述镂空区域用于露出所述阳极层(111)。
6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,所述第一绝缘层(103),所述第二绝缘层(104),所述第三绝缘层(106)以及所述第四绝缘层(107)的材料均为无机材料;
所述第五绝缘层(108)和所述第六绝缘层(110)的材料均为有机材料。
7.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板(10)还包括:存储电容(115),所述存储电容(115)包括第一电容极板(1151)和第二电容极板(1152);
其中,所述第一电容极板(1151)与所述第二栅极(1052)位于同层,所述第二电容极板(1152)与所述第一栅极(1021)位于同层。
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