[发明专利]一种基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法在审
| 申请号： | 202111629819.0 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114181266A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张学奇;袁磊;朱思坤;李建恒 | 申请（专利权）人： | 合肥安德科铭半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F17/00 | 分类号： | C07F17/00 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 赵丹 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 碱土金属 原子 沉积 前驱 材料 制备 方法 | ||
1.一种基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制备三烷基取代的环戊二烯R3Cp；
(2)将步骤(1)制备的R3Cp与碱B反应，得到相应的(R3Cp)M盐；
(3)得到(R3Cp)M后，向其中加入NCl2与NI2，以四氢呋喃或乙醚为溶剂，反应得到(R3Cp)2N。
2.根据权利要求1所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)还可以为以下方案：在得到(R3Cp)M后，向其中加入NCl2，再向反应体系中加入少量KI或NaI作为催化剂，以四氢呋喃或乙醚为溶剂，反应得到(R3Cp)2N。
3.根据权利要求1或2所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述R3Cp中R为正丙基，异丙基，正丁基，仲丁基，叔丁基等。
4.根据权利要求1或2所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述碱B为氨基金属MNH2或胺基金属MN(SiMe3)2，M为Li，Na或K。
5.根据权利要求3所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述氨基金属包括氨基锂LiNH2、氨基钠NaNH2和氨基钾KNH2；
所述胺基金属包括二(三甲基硅基)胺基锂LiN(SiMe3)2、二(三甲基硅基)胺基钠NaN(SiMe3)2和二(三甲基硅基)胺基钾KN(SiMe3)2。
6.根据权利要求1所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中NCl2与NI2的摩尔比可以从1:99～99:1。
7.根据权利要求1或2所述的基于碱土金属的原子层沉积前驱体材料的制备方法，其特征在于，所述(R3Cp)2N中N为Sr或Ba。
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