[发明专利]柔性压力传感器、柔性压力应变传感组件及压力检测方法在审
| 申请号: | 202111615008.5 | 申请日: | 2021-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN114279599A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
| 发明(设计)人: | 梁魁;周超 | 申请(专利权)人: | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01B7/16 |
| 代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 崔家源;范继晨 |
| 地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 压力传感器 压力 应变 传感 组件 检测 方法 | ||
1.一种柔性压力传感器,其特征在于,包括:
第一有机薄膜层、第二有机薄膜层、弹性体结构;
每个有机薄膜层上均设置有多个弹性体结构,每个所述弹性体结构的底面与所述有机薄膜层均通过第一导电材料连接;
每个所述弹性体结构除所述底面之外的外围面上均设置有第二导电材料,所述第二导电材料与所述第一导电材料连接,所述第二导电材料在空间的对应位置上也设置有所述第二导电材料,以在空间上通过具有预定距离的两层第二导电材料形成一个压力检测点位的空间电容。
2.如权利要求1所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述第二导电材料在空间的对应位置上的弹性体结构体上设置有所述第二导电材料,或者,所述第二导电材料在空间的对应位置上的有机薄膜层上设置有所述第二导电材料。
3.如权利要求1所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述第一有机薄膜层上的弹性体结构与所述第二有机薄膜层上的弹性体结构交错排布。
4.如权利要求3所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述第一有机薄膜层上的弹性体结构在所述第二有机薄膜层上的投影与所述第二有机薄膜层上的弹性体结构在所述第二有机薄膜层上的投影不重合。
5.如权利要求1所述的柔性压力传感器,其特征在于,一个所述空间电容对应的两层所述第二导电材料所在表面相互平行或者所在表面的剖面结构相互平行。
6.如权利要求1至3中任一项所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述弹性体结构的所述外围面上的所述第二导电材料分为多个区域,每个区域上的第二导电材料对应一个压力检测点位。
7.如权利要求6所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述第一导电材料在所述底面上具有分离的多个区域,每个区域与一个压力检测点位对应的第二导电材料连接。
8.如权利要求1至5中任一项所述的柔性压力传感器,其特征在于,所述弹性体结构的剖面结构形状至少包括以下之一:梯形、长方形、正方形。
9.一种柔性压力应变传感组件,其特征在于,至少包括:多个权利要求1至8中任一项所述的柔性压力传感器。
10.一种压力检测方法,其特征在于,应用权利要求1至8中任一项所述的柔性压力传感器,包括:
获取来自所述柔性压力传感器的空间电容的当前电容值;
根据所述当前电容值与预定电容值确定多个所述空间电容中电容值发生变化的空间电容;
根据各个空间电容的电容值的变化量确定压力发生位置及方向。
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