[发明专利]全自动晶圆分选机旋转取料结构在审
| 申请号： | 202111608231.7 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114308739A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 邓朝旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市朝阳光科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36 |
| 代理公司： | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人： | 吴雅丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全自动 分选 旋转 结构 | ||
【权利要求书】：
1.全自动晶圆分选机旋转取料结构，其特征是：包括有旋转电机，所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座，在所述摆臂机座上设有摆臂，在所述摆臂的上端设有吸嘴，所述吸嘴连通吸放气缸。
2.根据权利要求1所述的全自动晶圆分选机旋转取料结构，其特征是：所述摆臂的一侧设有旋转螺杆套件，所述旋转螺杆套件上设有紧固弹簧。
3.根据权利要求1所述的全自动晶圆分选机旋转取料结构，其特征是：所述摆臂分别设有左摆臂及右摆臂。
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