[发明专利]一种半导体级氨水的制备方法

权利要求书

1.一种半导体级氨水的制备方法，其特征在于，包括液氨、减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备。

2.权利要求1中所述的半导体级氨水的制备方法，其特征在于，所述液氨采用工业级液氨。

3.权利要求1中所述的半导体级氨水的制备方法，其特征在于，所述过滤设备内设有吸附和过滤两组工序。

4.权利要求1-3中任一项所述的半导体级氨水的制备方法，其特征在于，加工方法为：

(1)选取减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备，进行准备；

(2)将液氨存储设备连接减压设备，打开液氨存储设备阀门，高压液氨进入减压设备中，进行减压；

(3)减压设备连接精馏设备，进行初步加热精馏，精馏后通过冷凝设备进行冷却，热回收设备回收加热精馏热能，进行一定加热回温；

(4)初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏，热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能，二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝，得到精馏氨水；

(5)二次精馏氨水接入过滤设备，过滤设备包含吸附仓和过滤仓，先一步进行干燥吸附，去除氨水中杂质，接着通过膜过滤，进一步提高氨水的净度；

(6)接着取样检测，检测氨水质量是否达标，如未达标，继续进行吸附过滤，如质量达标，则进行加压灌装，得到成品氨水。