[发明专利]一种质谱仪高压输电结构以及质谱仪

说明书

本发明公开了一种质谱仪高压输电结构，属于飞行时间质谱仪领域，包括壳体、安装于壳体内部的运动平台以及随运动平台移动的样品台，壳体内部形成真空腔，高压线包括裸线、与裸线密封的绝缘层以及位于绝缘层外的屏蔽层，裸线及绝缘层伸进真空腔，腔体密封组件安装于壳体使密封组件与真空腔密封，线密封组件安装于绝缘层使绝缘层与腔体密封组件密封，实现高压线与真空腔的密封；压板抵压屏蔽层，输电弹簧两端分别与裸线以及运动平台连接传输高压电，实现运动馈电；整体结构简单，体积小，占用空间小；加工、装配、调试简单，成本低但功能更加稳定；绝缘距离大、稳定性高。本发明还涉及包含上述质谱仪高压输电结构的质谱仪。

技术领域

本发明涉及飞行时间质谱仪技术领域，尤其是涉及一种质谱仪高压输电结构以及包含上述质谱仪高压输电结构的质谱仪。

背景技术

飞行时间质谱仪(Time of Flight Mass Spectrometer，简称TOF)是一种很常用的质谱仪。其分辨率高、灵敏度高，无质量检测上限，具有微秒级检测速度，且能在一个检测周期内完成全谱检测，被广泛应用于环境科学的监测领域。

飞行时间质谱检测需要真空腔室、样品台、二维运动平台来实现。其中样品台需要运动，以满足不同靶点位检测的需要，同时样品台还需要高压，需要将高压通过一定的方式从真空外的高压电源输入至运动的样品台上。

在高压输送的过程中需要解决真空接口问题以及运动馈电问题，真空接口问题为：高压需要从非真空环境输入至真空环境，而不破坏真空腔10^-6mbar量级的真空度。运动馈电问题为：需要将高压稳定地输入至运动的样品台上。

现有的高压输电结构，无法很好的解决上述问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种能够接口真空、运动馈电的质谱仪高压输电结构。

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之二在于提供一种能够接口真空、运动馈电的质谱仪。

本发明的目的之一采用如下技术方案实现：

一种质谱仪高压输电结构，包括壳体、安装于所述壳体内部的运动平台以及随所述运动平台移动的样品台，所述壳体内部形成真空腔，所述质谱仪高压输电结构还包括输电弹簧、高压线以及密封组件，所述高压线包括裸线、与所述裸线密封的绝缘层以及位于绝缘层外的屏蔽层，所述密封组件包括压板、线密封组件以及腔体密封组件，所述裸线及所述绝缘层伸进所述真空腔，所述腔体密封组件安装于所述壳体使所述密封组件与所述真空腔密封，所述线密封组件安装于所述绝缘层使所述绝缘层与所述腔体密封组件密封，所述压板抵压所述屏蔽层，所述输电弹簧两端分别与所述裸线以及所述运动平台连接传输高压电。

进一步的，所述屏蔽层由外部延伸至所述压板靠近所述线密封组件一端，所述线密封组件以及所述腔体密封组件由屏蔽材料制成使所述高压线的裸线被屏蔽至所述真空腔内。

进一步的，所述线密封组件以及所述腔体密封组件位于所述压板以及所述壳体之间。

进一步的，包裹所述绝缘层的所述裸线贯穿所述线密封组件以及所述腔体密封组件。

进一步的，所述腔体密封组件包括腔体密封板以及腔体密封圈，所述腔体密封板固定于所述壳体，所述腔体密封圈位于所述腔体密封板以及所述壳体之间。

进一步的，所述线密封组件包括线密封板以及线密封圈，所述线密封板位于所述压板以及所述腔体密封板之间，所述线密封板与所述压板以及所述腔体密封板固定，所述线密封圈位于所述线密封板以及所述腔体密封板之间并与所述绝缘层抵触。

进一步的，所述腔体密封板设有第一安装槽，所述第一安装槽为锥形槽，所述线密封圈位于所述第一安装槽中。