[发明专利]一种真空镀、水镀一体化设备和超薄铜箔的生产方法

说明书

本发明实施例提供一种真空镀、水镀一体化设备和超薄铜箔的生产方法，该设备包括真空腔体、绕卷装置和电镀装置，绕卷装置用于对薄膜进行绕卷，真空腔室用于对绕卷装置中的薄膜进行真空蒸镀，电镀装置用于对蒸镀后的薄膜进行电镀。通过本发明实施例，无需将蒸镀后的薄膜在运输到电镀设备进行电镀，即可以避免运输耗时耗力，同时也可以避免运输途中空气中的水份吸附在薄膜上，影响产品质量问题。

技术领域

本发明涉及超薄铜箔制备技术领域，特别是涉及一种真空镀、水镀一体化设备和超薄铜箔的生产方法。

背景技术

超薄铜箔的生产工艺技术属于精细化、专业化程度高、各环节控制标准高的制造技术，随着电子产品高度集成化、小型化的发展，印制板向多层化、高集成化方向发展，印制线路图形的线宽和间距也越来越向微细化方向发展，因此，对线路板的可靠性能提出了更高的要求。例如精细线路中要求使用的薄型化铜箔具有更高的剥离性并能有效地减少或者避免蚀刻线路时产生的“侧蚀”现象，因此可剥离性超薄铜箔将会广泛地应用在高档次、多层化、薄型化、高密度化的印刷电路板上，特别是近年来锂离子电池的广泛应用更是给这种超薄铜箔的发展提供了广阔的市场空间。

超薄铜箔在锂电池中既充当负极活性物质的载体，又充当负极电子流的收集和传输体，铜箔厚度越薄对电池能量提升作用越大。以能量密度为260wh/kg锂电池为例，1kwh电量所对应电芯总质量约为3.85kg，按照主流8μm铜箔15％重量占比来算，铜箔重量约为0.58kg，如果铜箔厚度降低至6μm，在总面积不变的情况下，铜箔重量将降低25％，叠加50％孔隙率铜箔技术，换算后的能量密度可以提升至287wh/kg，相比于8μm铜箔携带电能更多。但由于6μm以下铜箔工艺难度较大，目前国内生产企业的超薄铜箔产品厚度主要以6-9μm为主，能够实现的抗拉强度为300-450MPa，延伸率大于3％，毛面轮廓度Rz小于2μm。现有技术中，制备超薄铜箔的设备都是蒸镀装置和电镀装置都是分离制备的，运输耗时耗力，而且还容易在运输途中空气中的水份会吸附在薄膜上，影响产品质量问题。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种真空镀、水镀一体化设备和超薄铜箔的生产方法，以解决现有技术中运输耗时耗力，以及在运输途中空气中的水份会吸附在薄膜上，影响产品质量问题。

为了达到上述目的，第一方面，本发明提供了一种真空镀、水镀一体化设备，包括真空腔体、绕卷装置和电镀装置，所述绕卷装置用于对薄膜进行绕卷，所述真空腔室用于对绕卷装置中的薄膜进行真空蒸镀，所述电镀装置用于对真空蒸镀后的薄膜进行电镀。

在一些可能的实施方式中，在所述绕卷装置和所述电镀装置之间还包括过渡装置，用于将所述绕卷装置中的薄膜导入电镀装置对所述薄膜进行电镀。

在一些可能的实施方式中，所述绕卷装置包括：蒸镀架，以及设置在蒸镀架前侧上的第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元；其中，

所述第一蒸镀单元包括：第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源和第四蒸镀源，从下至上依次设置在所述蒸镀架中间位置；

所述第一转向单元包括：第一转向辊、第二转向辊和第三转向辊从下至上的依次设置在所述蒸镀架上，且位于所述第一蒸镀单元的左右两侧；

所述第一收放卷单元包括：第一放卷辊和第一收卷辊，从下至上的设置于所述蒸镀架上，且位于所述第一蒸镀单元的同一侧。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊和所述第三转向辊设置于所述第一蒸镀单元的左侧，第二转向辊设置于所述第一蒸镀单元的右侧；

所述第一放卷辊和所述第一收卷辊设置于所述第一蒸镀单元的右侧，且所述第二转向辊位于所述第一放卷辊和所述第一收卷辊之间。

在一些可能的实施方式中，所述绕卷装置还包括：第二收放卷单元、第二蒸镀单元和第二转向单元，设置于所述蒸镀架后侧的且分别与所述第一收放卷单元、所述第一蒸镀单元和所述第一转向单元对称设置。