[发明专利]孔径光阑的衍射效应的检测装置及其方法有效

专利信息
申请号: 202111597695.2 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114279689B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 衣小龙;方伟;叶新;董航 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 郭婷
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 孔径 光阑 衍射 效应 检测 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种孔径光阑的衍射效应的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括:

太阳模拟光源,孔径光阑,透镜,若干个挡光盘和光强检测仪;所述太阳模拟光源照明所述孔径光阑形成散射角度为α的几何光和衍射角为θ衍射光;所述透镜的焦距为f,所述孔径光阑位于所述透镜的物方一侧相距所述透镜2f位置,所述光强检测仪位于所述透镜的像方一侧的大于相距所述透镜2f位置;所述挡光盘可选择的位于所述透镜的像方一侧相距所述透镜f位置,所述挡光盘的直径为θ1f,θ2f…θif,i表示挡光盘的个数,i至少等于2,所述挡光盘分别的用于将所述几何光通过所述透镜形成几何期望光和衍射角小于θ1,θ2…θi的衍射光反射出主光路。

2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述θi小于所述θ。

3.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述挡光盘的直径为大于αf。

4.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述光强检测仪为相机。

5.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述太阳模拟光源和所述孔径光阑之间还设置有限制光阑,所述限制光阑和所述孔径光阑限定了所述几何光的散射角度为α。

6.一种孔径光阑的衍射效应的检测方法,其特征在于,采用如权利要求1所述的检测装置,所述检测方法包括以下步骤:

S1:通过所述光强检测仪测量获取通过所述孔径光阑的包含所述几何光和所述衍射光的总光强IT

S2:借由若干个所述挡光盘将所述几何光通过所述透镜形成几何期望光和衍射角小于θ1、θ2、…、θi的衍射光反射出主光路,通过所述光强检测仪测量分别获取通过所述孔径光阑的所述衍射光的光强(I1,I2,…,Ii),i表示挡光盘的个数,i至少等于2;

S3:通过θ1、θ2、…、θi和I1,I2,…,Ii拟合出衍射角与衍射光强的响应函数I=f(θ);

S4:将α带入响应函数I=f(θ)计算衍射角为α的衍射光强ID=f(α);

S5:计算几何光强IG=IT-ID,计算孔径光阑的衍射效应D=IG/IT

7.根据权利要求6所述的检测方法,其特征在于,在步骤S1中,所述几何光和所述衍射光通过所述透镜在所述透镜的像方一侧的2f处汇聚成成像光斑,所述成像光斑位于所述光强检测仪的视场范围内。

8.根据权利要求6所述的检测方法,其特征在于,在步骤S2中,所述衍射光通过所述透镜在所述透镜的像方一侧的2f处形成所述衍射光的等大倒像。

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