[发明专利]一种晶圆清洗检测装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗检测装置，包括工作台(1)、侧板(2)和按压检测器(3)，其特征在于：所述按压检测器(3)包括有检测器外壳(42)，所述检测器外壳(42)的顶部开设有检测孔(43)，所述检测器外壳(42)的一侧开设有第一滑槽(30)，所述第一滑槽(30)内滑动连接有滑动块(34)，所述滑动块(34)的一侧固定连接有限位块(31)，所述限位块(31)远离滑动块(34)的一侧固定连接有滑杆(32)，所述滑动块(34)远离限位块(31)的一侧固定连接有分隔杆(35)，所述检测器外壳(42)的另一侧内部开设有第二滑槽(37)，所述第二滑槽(37)内滑动连接有限位滑块(36)，所述分隔杆(35)远离滑动块(34)的一端与限位滑块(36)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述检测器外壳(42)的内底部固定连接有底板(38)，所述检测器外壳(42)的两侧内部对称开设有第三滑槽(39)，每个所述第三滑槽(39)的底部均对称固定连接有多个第二弹簧(41)，每个所述第三滑槽(39)内均滑动连接有缓冲块(40)，每个所述缓冲块(40)的底部均与多个对应第二弹簧(41)固定连接，两个所述缓冲块(40)之间共同固定连接有pvc彩色荧光软膜(33)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有侧板(2)，所述侧板(2)的内部开设有摆动槽(22)，所述摆动槽(22)的内底部固定连接有固定板(16)，所述固定板(16)的一侧通过转轴转动连接有第三连杆(20)和第一连杆(17)，所述固定板(16)的靠近第三连杆(20)的一侧转动连接有转动杆(18)，所述转动杆(18)远离固定板(16)的一端贯穿第一连杆(17)的另一端，所述第一连杆(17)远离固定板(16)的一侧设有第二连杆(19)，所述第二连杆(19)的一端与转动杆(18)转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述第二连杆(19)的另一端和第三连杆(20)的另一端均通过转轴共同转动连接有第四连杆(21)，所述第四连杆(21)远离侧板(2)的一端固定连接有连接板(4)，所述连接板(4)远离第四连杆(21)的一侧与按压检测器(3)的底部固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述转动杆(18)远离固定板(16)的一端贯穿侧板(2)转动连接有转盘(5)，所述转盘(5)远离侧板(2)的一侧固定连接有转杆(6)。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有第一导向板(11)、第二导向板(12)、第三导向板(13)和限位槽板(14)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的内部开设有放置槽(15)，所述放置槽(15)的内底部固定连接有第一固定块(23)，所述第一固定块(23)的顶部固定连接有第一弹簧(24)，所述第一弹簧(24)的顶部固定连接有滑板(25)，所述滑板(25)与放置槽(15)滑动连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有固定座(8)，所述固定座(8)的顶部转动连接有转动柱(9)，所述转动柱(9)靠近放置槽(15)的一侧固定连接有卡杆(10)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆清洗检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有机箱(7)，所述机箱(7)的内侧壁上固定连接有第二固定块(26)，所述第二固定块(26)的另一侧固定连接有气缸(27)，所述气缸(27)的伸缩杆上固定连接有推杆(28)。