[发明专利]一种高效异质结太阳能电池及制备方法

权利要求书

1.一种高效异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于：在常规异质结太阳能电池制备工序前增加一道吸杂工序，所述吸杂工序通过全链式吸杂工艺完成；

所述全链式吸杂工艺包括：

对硅片进行链式前清洗；

在硅片表面链式涂覆吸杂源；

对硅片进行链式高温吸杂。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述硅片为N型单晶硅片。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述吸杂源为液态源。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述液态源可以为磷酸溶液、含磷浆料或含硼浆料中的一种。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述链式前清洗包括碱液清洗。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述碱液为质量百分比浓度1～3%的NaOH溶液或质量百分比浓度1～3%的KOH溶液。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：在碱液清洗之后还包括对所述硅片进行酸液清洗。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于：所述酸液为质量百分比浓度1～10%的HF溶液。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述链式高温吸杂的温度为500～800℃，时间为2～20min。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：对所述硅片进行链式高温吸杂之后还包括对所述硅片进行链式后清洗。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于：所述链式后清洗为质量百分比浓度1～5%的HF溶液清洗。

12.一种基于权利要求1-11任一项所述的全链式吸杂工艺的全链式吸杂设备，其特征在于：所述全链式吸杂设备包括依次连接的链式前清洗功能区、链式涂覆吸杂源功能区、链式高温吸杂功能区以及贯穿每个功能区的传送装置，硅片通过传送装置被依次输送至链式前清洗功能区、链式涂覆吸杂源功能区和链式高温吸杂功能区完成全链式吸杂工艺。

13.根据权利要求12所述的全链式吸杂设备，其特征在于：所述全链式吸杂设备还包括位于链式高温吸杂功能区之后的链式后清洗功能区。

14.一种高效异质结太阳能电池，其特征在于，所述高效异质结太阳能电池根据权利要求1-11任一项所述的制备方法所制成。