[发明专利]一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统，其特征在于包括机械手臂、集光盖板、标准积分球光源、标准LED器件、显微高光谱成像光谱仪、电流源和计算机；所述集光盖板为带有通孔的平板，通孔呈反光杯式结构，内壁镀金，用于收集发光器件微弱光信号，并带有多个定位标记；所述机械手臂通过机械爪与集光盖板相连接，通过机械手臂控制集光盖板在三维空间移动，并通过集光盖板上与微型发光器件阵列之间的定位标记，实现集光盖板与微型发光器件阵列的精准定位；所述显微高光谱成像光谱仪用于收集微型发光器件阵列的图像信息和光谱信息；所述电流源与微型发光器件阵列相连，用于驱动微型发光器件阵列；所述计算机与机械手臂和显微高光谱成像光谱仪连接，用于控制机械手臂和接收图像信息和光谱信息，并能够进行数据处理。

2.如权利要求1所述一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统，其特征在于所述集光盖板为带有通孔的平板，通孔的尺寸和布局与微型发光器件阵列芯片的尺寸和布局一一对应；通孔分为上中下三段式，其中上段为垂直结构，中端为倾斜结构，形成反光杯式，下段为垂直套筒结构；其中下段套筒尺寸需略大于微型发光器件阵列芯片尺寸，从而能够覆盖芯片，防止因芯片间距小，相邻芯片对待测芯片产生的光串扰现象；三段式通孔的内壁进行镀金处理，增强通孔的反光性，加上反光杯式设计，从而满足对发光器件微弱光信号的收集。

3.如权利要求1所述一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统，其特征在于所述显微高光谱成像光谱仪由显微镜和高光谱成像仪组建而成，通过调整其与微型发光器件阵列之间的距离，不仅可以实现对微型发光器件阵列微弱信号准确采集，还可以获得任意像素光谱信息，从而实现视野范围内的单像素光色信息的批量快速检测。

4.如权利要求1所述一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统，其特征在于所述机械手臂进行三维空间移动是通过计算机调整参数，控制机械手臂的机械爪三维移动。

5.如权利要求1所述一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统，其特征在于所述集光盖板尺寸参数根据微型发光器件阵列尺寸设置。

6.一种微型发光器件阵列单像素的光色检测方法，其特征在于其具体步骤如下：

1)二步式校准检测系统：依次连接好检测系统，分别将标准积分球光源、标准LED器件与电流源相连接，置于显微高光谱成像光谱仪的视野区，通过机械手臂完成集光盖板与标准积分球光源或标准LED器件精准定位，分别进行检测系统相对和绝对响应曲线校准，保存校准曲线；

2)微型发光器件阵列检测：将微型发光器件阵列与电流源相连接，置于显微高光谱成像光谱仪的视野区，通过机械手臂控制集光盖板，使集光盖板下段套筒与芯片一一对应，并覆盖芯片，调整显微高光谱成像光谱仪进行检测，然后通过计算机调用校准曲线，得到微型发光器件阵列单像素的图像信息和光谱信息，包括光通量和光功率。