[发明专利]一种低能远焦电子枪

权利要求书

1.一种低能远焦电子枪，包括：阴极发射体(1)、阴极紧固盖片(16)、阴极底座(2)、阳极(3)和电子枪外壳(10)，其特征在于，所述阳极(3)的前方依次设置有第一透镜组和第二透镜组，共同用于聚焦电子束；其中，

所述第一透镜组包括：依次排列的三个相同的且中心具有开孔的单膜孔透镜；所述单膜孔透镜之间间隔一定距离；

所述第二透镜组包括：依次排列的三个等径不等高的圆筒状电极；所述圆筒状电极之间间隔一定距离；

所述阴极发射体(1)、阳极(3)、第一透镜组的三个单膜孔透镜和第二透镜组的三个圆筒状电极依次同轴设置。

2.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述单膜孔透镜的中心开孔的半径为15mm，所述单膜孔透镜之间间隔8mm-12mm。

3.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述第二透镜组的三个等径不等高的圆筒状电极之间间隔1mm-5mm，所述圆筒状电极的半径为20mm；所述的圆筒状电极依次为：第四电极(7)、第五电极(8)和第六电极(9)；其中，所述第四电极(7)和第六电极(9)的高度为27mm-31mm，所述第五电极(8)的高度为10mm-14mm，其中，所述第四电极(7)靠近所述第一透镜组。

4.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阳极(3)与所述阴极发射体(1)的之间的间隔为0.75mm-1.25mm；所述第一透镜组和阳极之间的间隔为5mm，所述第二透镜组和第一透镜组之间的间隔为5mm。

5.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阴极发射体(1)、阴极底座(2)和阴极紧固盖片(16)共同组成阴极组件；其中，

所述阴极发射体(1)固定在阴极底座(2)上；所述阴极紧固盖片(16)通过螺丝钉固定在所述阴极底座(2)。

6.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阴极组件、阳极(3)、所述第一透镜组的三个单膜孔透镜、第二透镜组的三个圆筒状电极和电子枪外壳(10)均与外接电源装置连接；其中，所述阳极(3)和电子枪外壳(10)接地；所述电子枪通过调节外接电源装置的电压对所述电子枪产生的电子束的束流强度和电子束外形进行调节。

7.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述电子枪外壳(10)由两个旋转对称的半圆形外壳部件组成，所述两个外壳部件通过定位销(13)对齐，并通过紧固螺丝(12)固定；其中，所述外壳部件内侧刻有凹槽，凹槽内嵌套有环形氧化铝陶瓷；所述氧化铝陶瓷内侧具有V型槽，所述阴极发射体(1)、阴极底座(2)、阳极(3)、第一透镜组和第二透镜组通过所述V型槽固定；所述阴极组件、所述阳极(3)、所述第一透镜组的三个单膜孔透镜和所述第二透镜组之间通过氧化铝陶瓷实现电气隔离，并均与所述外壳电气隔离。

8.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阴极发射体(1)、阴极底座(2)、阳极(3)、第一透镜组、第二透镜组和电子枪外壳(10)均设置有电极引出线预留接口；所述电极引出线预留接口与外接导线焊接，用于与外接电源装置连接；权利要求所述电子枪外壳(10)还设置有一个预留接口(15)，用于与可移动非接触式月表电位探测器月表电位探测器的其他部件连接。

9.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阴极紧固盖片(16)和阳极(3)采用金属钼；所述第一透镜组、第二透镜组和电子枪外壳(10)均采用不会磁化的金属；所述阴极发射器(1)采用六硼化镧阴极或者氧化物阴极。

10.根据权利要求1所述的低能远焦电子枪，其特征在于，所述阴极底座(2)上均匀设置减重开孔。