[发明专利]一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述LTCC滤波器包括均匀堆叠的若干功能层，所述功能层包括上下堆叠的功能带和生瓷带，所述功能带包括交替排列设置的金属电极和陶瓷浆料印刷层；

所述LTCC滤波器的制备包括以下步骤：

(1)于生瓷带上通过激光打孔、微孔注浆以及精密印刷制备出电路图形，将电路图形加热烘干后制得覆盖有金属电极的生瓷带；

(2)将陶瓷浆料印刷层印刷于步骤(1)制备的覆盖有金属电极的生瓷带上，制得交替排列覆盖有金属电极和陶瓷浆料印刷层的生瓷带；

(3)将步骤(2)制得的生瓷带加热烘干后叠压，再于250～450℃条件下排胶后，于850～950℃条件下烧结，即可制得可减少层厚差异的LTCC滤波器；

所述陶瓷浆料印刷层的材料为陶瓷浆料，所述陶瓷浆料包括以下重量份组分：LTCC微波介质陶瓷粉50～90份、高分子树脂3～5份和有机溶剂5～45份，所述陶瓷浆料的黏度为40～300Pa·s，固含量为50～90％。

2.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述金属电极和陶瓷浆料印刷层的厚度均为6～18μm，所述生瓷带的厚度为15～120μm。

3.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述LTCC微波介质陶瓷粉包括以下重量份组分：SiO₂ 40～56份、Al₂O₃ 40～44份、B₂O₃ 0～1份以及TiO₂ 0～2份，所述LTCC微波介质陶瓷粉的粒径为0.8～4.0μm。

4.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述高分子树脂为乙基纤维素、聚乙烯醇缩丁醛树脂和甲基丙烯酸异丁酯树脂中的一种或几种。

5.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为松油醇、二乙二醇丁醚和二乙二醇单乙基醚醋酸酯中的一种或几种。

6.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的加热温度为75～85℃，加热时间为8～12min。

7.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中的加热温温度为90～110℃，加热时间为8～12min。