[发明专利]坩埚融料前添加膜料装置

说明书

本申请涉及一种坩埚融料前添加膜料装置，包括：底座、连接于底座的坩埚、与驱动源连接的转动机构、融料件、添料组件和限位组件；添料组件连接于转动机构且能够在转动机构的带动下相对坩埚转动，添料组件包括转动连接的料筒和下料座，下料座设有漏料孔，料筒和下料座中之一与转动机构相连，限位组件用于料筒和下料座之另一进行限位；当限位组件对下料座或料筒限位时，转动机构转动能够带动料筒和下料座相对转动以使料筒相对漏料孔移动并选择地连通。上述方案中仅通过旋转转动机构就可以实现坩埚融料时添加膜料，不需要打开镀膜机门就可以操作，相较于现有技术中坩埚融料完成后开门添加膜料，操作更加方便，生产效率更高。

技术领域

本申请涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种坩埚融料前添加膜料装置。

背景技术

常用的镀膜材料TiO_X(直径1～3mm的颗粒状)镀膜蒸发过程中所需温度较其它材料(SiO₂、Al₂O₃)更高。镀膜蒸发过程中电子枪能量高，未预融过的膜料在电子束轰击时易炸裂飞溅，造成镀膜过程所需的蒸发速率无法达到，其次膜料飞溅会影响真空室内洁净度，产品表面形成黑色点状颗粒，降低外观良率。为保证镀膜过程的稳定性，TiO_x材料使用前需先融化使其成块状整体(常称为：融埚)。融埚过程通常需要分5～6次进行，每次在坩埚内添加少量膜料(能盖住坩埚底部或下端已融好膜料即可，膜料添加太多，电子束难以轰击在下层膜料上，达不到融埚效果，使用时下端膜料被电子束轰击仍会炸裂)，手动控制电子枪发出的高能电子束，轰击在膜料上，使膜料逐渐融化，每台机有12个坩埚位，一次可融12个坩埚。

现有问题点在于融埚时机台需达到高真空状态，每次12个坩埚融料完成后，需充气开门添加膜料，再关门抽气达到高真空状态，机台单次充气、抽气时间耗时在30min以上，一轮融埚过程耗时在3h以上，目前12h只能完成2轮融埚，耗时久，效率低。

此外，镀膜过程温度高，坩埚上边缘离冷却水距离远，制冷效果差，使用一段时间后埚口变形严重，会影响坩埚正常转动，此时即需要更换新埚，现有机台较多，坩埚更换量大，融埚时需占用1台机，1人力，耽误机台产能12h，生产任务重时机台协调困难，坩埚变形超标准无埚可换时常发生。

发明内容

基于此，有必要提供一种坩埚融料前添加膜料装置，旨在解决现有技术存在的融埚过程中不便添加膜料的问题。

本申请提供一种坩埚融料前添加膜料装置，包括：底座、连接于底座的坩埚、与驱动源连接的转动机构、融料件、添料组件和限位组件；所述添料组件连接于所述转动机构且能够在所述转动机构的带动下相对所述坩埚转动，所述添料组件包括转动连接的料筒和下料座，所述下料座设有漏料孔，所述料筒和所述下料座中之一与所述转动机构相连，所述限位组件用于所述料筒和所述下料座之另一进行限位；当所述限位组件对所述下料座或所述料筒限位时，所述转动机构转动能够带动所述料筒和所述下料座相对转动以使所述料筒相对所述漏料孔移动并选择地连通。

在任意实施方式中，所述料筒连接于所述转动机构，所述限位组件对所述下料座限位，当所述限位组件对所述下料座限位时，所述转动机构转动能够带动所述料筒相对所述下料座转动以相对所述漏料孔移动以使所述漏料孔与所述料筒选择地连通。

上述方案中通过设置转动机构带动添料组件旋转，使得添料组件能够相对坩埚移动，避免添料组件对在融料件融化坩埚内膜料的过程产生影响，还通过设置限位组件及时对下料座进行限位，使得下料座能够定位坩埚位置，避免漏料，同时继续旋转转动机构还可以带动料筒移动到漏料孔所在位置，使得料筒内的预存膜料能够从漏料孔漏至坩埚内。上述方案中仅通过旋转转动机构就可以实现坩埚融料时添加膜料，不需要打开镀膜机门就可以操作，相较于现有技术中坩埚融料完成后开门添加膜料，操作更加方便，生产效率更高。

下面对本申请的技术方案作进一步的说明：