[发明专利]一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法

权利要求书

1.一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：在长条状电解池两端固定正负驱动电极，电解池中布置化学沉积基板，将化学镀液置于电解池中，在启动化学沉积的同时，利用电解池两端的电极在溶液中产生梯度电势场，使进行化学沉积的基板表面与溶液之间形成不同的电势差值，实现了在一定电势差范围内同步进行化学沉积的过程，通过分析基板不同位置上沉积材料物性即能够判断不同电位下化学沉积特性。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：

设置分析装置：包括驱动沉积电解池(1)、驱动电源(4)、化学镀液储备池(6)、蠕动泵(7)及溶液排放管(8)；

所述蠕动泵(7)通过管路连通所述化学镀液储备池(6)和驱动沉积电解池(1)，用于将化学镀液储备池(6)内的化学镀液泵送至驱动沉积电解池(1)内；所述溶液排放管(8)通过导管连通在驱动沉积电解池(1)底部，且所述溶液排放管(8)的排液口位于所述化学镀液储备池(6)外；通过所述蠕动泵(7)和溶液排放管(8)控制所述驱动沉积电解池(1)内的液面高度及溶液替换速度；

在所述驱动沉积电解池(1)的两端分别设置有第一驱动电极(2)和第二驱动电极(3)，第一驱动电极(2)和第二驱动电极(3)在测试加工时分别连接驱动电源(4)的负极和正极；

利用所述分析装置，按如下步骤进行分析：

将待分析评测的化学镀液(9)注入化学镀液储备池(6)内；打开蠕动泵(7)，并调节溶液排放管(8)，使所述驱动沉积电解池(1)内溶液保持液面稳定；

将测试基板(5)固定于所述驱动沉积电解池(1)的底部，且位于第一驱动电极(2)和第二驱动电极(3)之间；

开启驱动电源(4)，第一驱动电极(2)和第二驱动电极(3)之间形成梯度电势场；测试基板(5)在驱动沉积电解池(1)内首先进行化学沉积反应，随着梯度电势场形成，测试基板(5)表面不同区域与溶液形成不同的电极电势，即在测试基板上实现不同的电势沉积效果；

沉积完成后，关闭驱动电源(4)和蠕动泵(7)，将加工后的测试基板取出、清洗并进行沉积材料测评，从而得到不同电势下化学沉积的结果。

3.根据权利要求2所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：所述驱动沉积电解池(1)呈设有内槽的长方体状，内槽宽度为0.5cm～2cm、长度为5cm～20cm。

4.根据权利要求2所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：在所述溶液排放管(8)上设有调节阀。

5.根据权利要求2所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：第一驱动电极(2)、第二驱动电极(3)与所述驱动沉积电解池(1)的内槽同宽，材料使用不溶性电极材料；所述测试基板(5)的宽度不超过所述驱动沉积电解池(1)的内槽宽度，长度小于第一驱动电极(2)与第二驱动电极(3)之间的距离。

6.根据权利要求2所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：所述第一驱动电极(2)与所述第二驱动电极(3)之间的距离为5cm～20cm，通过调整两驱动电极间的距离，改变测试基板(5)的长度，能够控制基板表面的电势范围及沉积加工区域。

7.根据权利要求2所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：所述驱动电源(4)的输出直流电压为1V～15V，通过调整电压大小，能够控制测试基板(5)表面的电势窗口大小，评测不同电势范围内化学沉积的效果。

8.根据权利要求2或4所述的一种用于化学沉积中电势影响快速分析的方法，其特征在于：所述溶液排放管(8)通过两个导管连通在驱动沉积电解池(1)底部，一个导管位于第一驱动电极(2)与测试基板(5)中间，另一个导管位于第二驱动电极(3)与测试基板(5)中间；所述蠕动泵(7)从化学镀液储备池(6)中抽取的溶液注入到驱动沉积电解池(1)中部位置，其流速控制在1～10mL/min。