[发明专利]衍射光学元件、投射模组及电子设备在审

专利信息
申请号: 202111576538.3 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114217449A 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 王锐;冯坤亮;关赛新 申请(专利权)人: 江西欧迈斯微电子有限公司
主分类号: G02B27/10 分类号: G02B27/10;G02B27/42
代理公司: 广州德科知识产权代理有限公司 44381 代理人: 李桦;万振雄
地址: 330096 江西省南昌市*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 衍射 光学 元件 投射 模组 电子设备
【权利要求书】:

1.一种衍射光学元件,其特征在于,用于将单束光分束成3×5的多束光,包括:

基底;

微结构阵列,所述微结构阵列设置在所述基底上,所述微结构阵列包括阵列排布的多个第一单元、多个第二单元及多个第三单元,所述第一单元沿X轴方向延伸且多个所述第一单元沿Y轴方向均匀间隔排布,每个所述第一单元对应多个所述第二单元及多个所述第三单元,多个所述第二单元与多个所述第三单元一一对应设置,所述第二单元的一端与所述第一单元连接、另一端沿所述Y轴方向延伸,多个所述第二单元沿所述X轴方向均匀间隔排布,所述第三单元与对应的所述第二单元的另一端连接且所述第三单元的两端沿所述X轴方向凸出所述第二单元的两侧,多个所述第三单元沿所述X轴方向均匀间隔排布,其中,所述X轴及所述Y轴在平行于所述基底的平面上构成一平面直角坐标系。

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,所述微结构阵列满足以下条件:

0.54≤A/VP≤0.81;0.2≤K/VP≤0.3;0.78≤E/HP≤1;9°≤θ≤26°;

其中,A为所述第三单元在所述X轴方向上的最大尺寸,VP为多个所述第三单元沿所述X轴方向的阵列周期尺寸,K为所述第二单元在所述X轴方向上的最大尺寸,E为分别位于所述第三单元与所述第一单元上且在所述Y轴方向上相距最远的两个点之间的距离,HP为多个所述第三单元沿所述Y轴方向的阵列周期尺寸,θ为所述第三单元的最长轴与所述X轴的夹角。

3.根据权利要求2所述的衍射光学元件,其特征在于,所述微结构阵列满足以下条件:

2μm≤VP≤10μm;和/或,2μm≤HP≤10μm。

4.根据权利要求2所述的衍射光学元件,其特征在于,所述微结构阵列满足以下条件:

A/VP=0.64±0.05;和/或,K/VP=0.22±0.01;和/或,E/HP=0.96±0.03;和/或,θ=11°±1°。

5.根据权利要求2所述的衍射光学元件,其特征在于,所述第三单元包括沿所述X轴方向凸出所述第二单元两侧的第一凸出段及第二凸出段,所述第一凸出段及第二凸出段在所述Y轴方向上均与所述第一单元间隔设置,所述微结构阵列满足以下条件:

0.15≤K1/VP≤0.25;0.2≤K2/VP≤0.3;

其中,K1为所述第一凸出段在所述X轴方向上的最大尺寸,K2为所述第二凸出段在所述X轴方向上的最大尺寸。

6.根据权利要求5所述的衍射光学元件,其特征在于,所述微结构阵列满足以下条件:

K1/VP=0.2±0.03;K2/VP=0.23±0.02。

7.根据权利要求5所述的衍射光学元件,其特征在于,所述第一单元包括位于所述第二单元的两侧,与所述第一凸出段对应的第三凸出段及与所述第二凸出段对应的第四凸出段,所述微结构阵列满足以下条件:

0.17≤B1/HP≤0.3;0.16≤C1/HP≤0.31;0.15≤B2/HP≤0.28;0.19≤C2/HP≤0.31;0.19≤B3/HP≤0.34;0.18≤C3/HP≤0.35;

其中,B1为所述第一凸出段在所述Y轴方向上的最大尺寸,C1为所述第二凸出段在所述Y轴方向上的最大尺寸,B2为所述第一凸出段与所述第三凸出段之间沿所述Y轴方向的最小间隔尺寸,C2为所述第二凸出段与所述第四凸出段之间沿所述Y轴方向的最小间隔尺寸,B3为所述第三凸出段在所述Y轴方向上的最大尺寸,C3为所述第四凸出段在所述Y轴方向上的最大尺寸。

8.根据权利要求7所述的衍射光学元件,其特征在于,所述微结构阵列满足以下条件:

B1/HP=0.25±0.03;和/或,C1/HP=0.27±0.03;和/或,B2/HP=0.2±0.04;和/或,C2/HP=0.22±0.02;和/或,B3/HP=0.27±0.04;和/或,C3/HP=0.31±0.03。

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