[发明专利]柔性基板的制备方法、柔性基板以及柔性显示面板在审
| 申请号: | 202111566775.1 | 申请日: | 2021-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN114335404A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 朱啸宇;黄迅 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 王芳芳 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 制备 方法 以及 显示 面板 | ||
本申请实施例提供一种柔性基板的制备方法、柔性基板以及柔性显示面板。本申请实施例提供的柔性基板的制备方法,通过采用二次反向涂布的方法,加强了聚合物前驱体溶液在载板上的拉伸流动,使聚合物前驱体溶液能够实现更好的自流平效果,从而获得膜厚更加均匀的湿膜层,进而获得膜厚均匀的柔性基板。另外,与单次涂布形成厚度相同的的湿膜层相比,本申请实施例采用多次涂布的方法可以降低每次涂布时涂布模头挤出的聚合物前驱体溶液的量,同时降低涂布模头施加于被挤出的聚合物前驱体溶液上的剪切力,避免出现被挤出的聚合物前驱体溶液由于压力释放产生回缩进而导致膜厚不均匀的情况。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别涉及一种柔性基板的制备方法、柔性基板以及柔性显示面板。
背景技术
近年来,有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)因为其能耗低、分辨率高、亮度高、轻薄、高对比度、广色域、响应速度快、无需背光源等诸多优点,在平板显示方面得到了广泛应用,尤其是在移动设备屏幕方面已经占据了绝对的主导地位。
随着目前行业的发展,让显示器可以自由弯曲已经成为了未来显示设备的发展趋势,且目前OLED的性质和优势也可也支持其实现超薄、可卷曲、可弯折等性能。
柔性OLED显示面板中的柔性基板的膜厚均匀性是一项重要指标,但是目前柔性基板的制备工艺由于无法保证涂膜厚度的均匀性,因此制得的柔性基板的膜厚均匀性也较差。
发明内容
本申请实施例提供一种柔性基板的制备方法、柔性基板以及柔性显示面板,该柔性基板的制备方法可以制得膜厚均匀性较好的柔性基板。
第一方面,本申请实施例提供一种柔性基板的制备方法,包括:
提供载板和聚合物前驱体溶液,定义所述载板具有相对设置的第一侧和第二侧;
将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧;
将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧;
将所述聚合物前驱体溶液在所述载板上涂布完成后,形成湿膜层,对所述湿膜层进行固化,得到柔性基板。
在一些实施例中,将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧之后,停顿一段时间,再将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧。
在一些实施例中,所述停顿一段时间为停顿10秒~30秒。
在一些实施例中,采用狭缝涂布的方式将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧,采用狭缝涂布的方式将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧。
在一些实施例中,所述聚合物前驱体溶液包括二元胺、二元酐和溶剂。
在一些实施例中,所述溶剂包括N,N-二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、甲基吡咯烷酮、γ-丁内酯和碳酸丁酯中的一种或多种。
在一些实施例中,将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧之后,再将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧;或者
将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧之后,重复“将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧,之后将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧”一次或多次;或者
将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧之后,重复“将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧,之后将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第二侧涂布至所述第一侧”一次或多次,再将所述聚合物前驱体溶液从所述载板的所述第一侧涂布至所述第二侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





