[发明专利]控制基板处理装置的工作的控制装置

权利要求书

1.一种控制装置，控制基板处理装置的工作，其中，所述控制装置包括：

第一群集工具控制器，控制所述基板处理装置的各模组；以及

第二群集工具控制器，具备与所述第一群集工具控制器相同的软件以及硬件结构并设定成执行与所述第一群集工具控制器相同的作业，

所述第二群集工具控制器设定成当所述第一群集工具控制器停止时代替所述第一群集工具控制器控制所述基板处理装置的各模组。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，

所述第一群集工具控制器包括：

第一处理单元，执行用于控制所述各模组的数据处理；

第一存储单元，存储用于控制所述各模组的数据；以及

第一接口单元，用于与所述第二群集工具控制器的数据交换。

3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，

所述第二群集工具控制器包括：

第二处理单元，与所述第一处理单元同步执行用于控制所述各模组的数据处理；

第二存储单元，与所述第一存储单元同步存储用于控制所述各模组的数据；以及

第二接口单元，用于与所述第一群集工具控制器的数据交换。

4.根据权利要求3所述的控制装置，其中，

所述第一存储单元以及所述第二存储单元各自设定成存储：

用于控制所述基板处理装置的操作系统；

在所述操作系统的环境下工作的应用程序；以及

用于所述第一群集工具控制器和第二群集工具控制器同步的虚拟机。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，

所述第一群集工具控制器生成与投入到所述基板处理装置中的基板有关的群集工具控制器作业信息，基于所述群集工具控制器作业信息生成用于输送所述基板的输送指令，基于所述群集工具控制器作业信息生成用于所述基板的工艺处理的处理指令。

6.根据权利要求5所述的控制装置，其中，

所述第二群集工具控制器复制并存储所述群集工具控制器作业信息，复制并存储所述输送指令，复制并存储所述处理指令。

7.根据权利要求1所述的控制装置，其中，

所述第二群集工具控制器检测出所述第一群集工具控制器发生异常，若所述第一群集工具控制器发生异常则代替所述第一群集工具控制器生成以及传送用于控制所述基板处理装置的各模组的作业。

8.根据权利要求7所述的控制装置，其中，

若所述第一群集工具控制器恢复，则所述第二群集工具控制器将从所述第一群集工具控制器停止的时间点开始存储的指令以及数据向所述第一群集工具控制器传送。

9.一种控制装置的工作方法，所述控制装置包括控制基板处理装置的各模组的第一群集工具控制器以及具备与所述第一群集工具控制器相同的软件以及硬件结构并设定成执行与所述第一群集工具控制器相同的作业的第二群集工具控制器，其中，所述工作方法包括：

使所述第一群集工具控制器控制所述基板处理装置的各模组的步骤；

在所述第二群集工具控制器中生成与所述第一群集工具控制器同步的指令以及数据的步骤；以及

当所述第一群集工具控制器停止时使所述第二群集工具控制器代替所述第一群集工具控制器控制所述基板处理装置的各模组的步骤。

10.根据权利要求9所述的工作方法，其中，

使所述第一群集工具控制器控制所述基板处理装置的各模组的步骤包括：

生成与投入到所述基板处理装置中的基板有关的群集工具控制器作业信息的步骤；

基于所述群集工具控制器作业信息生成用于输送所述基板的输送指令的步骤；以及

基于所述群集工具控制器作业信息生成用于所述基板的工艺处理的处理指令的步骤。