[发明专利]一种低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，在钠钙玻璃基板（1）上镀上钼薄膜，在所述钼薄膜镀上光伏‘铜锌锡硒’薄膜层（3），在‘铜锌锡硒’薄膜层（3）上表面镀上“p-n结”薄膜（11）；

所述钠钙玻璃基板（1）还可以用带有钠的柔性基板替换。

2.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述“铜锌锡硒”薄膜及晶体 （3）上，镀有0.05微米厚的‘硫化镉’或‘硫化锌（4）’。

3.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述‘硫化镉’或‘硫化锌（4）’上，镀约0.1微米厚的绝缘层氧化锌（5）。

4.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述‘氧化锌（5）’上，镀约0.35至1.9微米厚的‘石墨烯透明导电膜’为前电极（6）。

5.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述‘石墨烯透明导电膜’前电极（6）上，镀上约0.05微米厚的镍 （7），该镍（7）上镀有约3.0微米厚铝膜（8）。

6.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述铝膜（8）上，镀上约0.05微米厚的一层保护镍（9）。

7.根据权利要求1所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述保护镍（9）上，放置约1.0至4.0毫米厚的钠钙覆盖玻璃（10）或其它柔性覆盖层。

8.一种低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池的生产工艺，其特征在于，包括：

使用一块已匹配好化学成分的‘铜、锌、锡、硒’四元素合成固态靶材，在较低的基板温度下，用‘射频或负离子脉冲直流电源溅射’镀膜；

采用带有‘硒’闭封气氛的退火炉，在高温下进行退火。

9.根据权利要求8所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述的退火炉包括：主体、传送组件、密封箱、加‘硒’组件和加热组件，

所述主体分为前段、中段和后段，所述加‘硒’组件设于主体的前段，所述加热组件设于主体中段，所述主体设于传送组件上，所述加‘硒’组件设于传送组件上方；

所述密封箱设于传送组件上；

所述密封箱包括：箱体、密封盖和料盒，所述箱体的上端设有一通孔，所述密封盖设于通孔上，所述料盒设于箱体内部设于通孔下端；所述加‘硒’组件包括：气缸、旋转电机、真空管、加料管和连接板，所述气缸固定连接旋转电机，所述旋转电机连接连接板，所述连接板上对称设有两个通孔，所述真空管和加料管分别固定连接两通孔；

所述加热组件设于传送组件内，所述加热组件有若干个加热工位。

10.根据权利要求9所述的低温溅射的石墨烯透明电极薄膜太阳能电池，其特征在于，所述退火炉中段上方还设有通孔，所述通孔用于连接通气管，所述通气管通入惰性气体。