[发明专利]一种膜电极缺陷在线检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种膜电极缺陷在线检测装置，其特征在于，包括用于放置膜电极的样品台(1)，所述样品台(1)的一侧设有用于向膜电极表面提供线光源的光源发生器(2)，所述样品台(1)与光源发生器(2)相对的一侧设有用于向膜电极表面拍照的CCD相机(3)；所述样品台(1)活动设置于运动导轨上，所述运动导轨随控制系统的控制带动样品台(1)移动从而使光源发生器(2)对膜电极形成面光源；所述CCD相机(3)与信息处理系统连接用于获取缺陷情况。

2.根据权利要求1所述的膜电极缺陷在线检测装置，其特征在于，还包括用于使样品台(1)上的膜电极移动从而使得生产线中的连续膜电极进行在线检测的移动部件。

3.根据权利要求1所述的膜电极缺陷在线检测装置，其特征在于，所述运动导轨包括带动样品台(1)沿X方向、Y方向移动的X向导轨(4)、Y向导轨(5)。

4.根据权利要求1所述的膜电极缺陷在线检测装置，其特征于，所述光源发生器(2)为LED线光源。

5.根据权利要求4所述的膜电极缺陷在线检测装置，其特征于，所述LED线光源为波长350～770nm的光线。

6.根据权利要求1所述的膜电极缺陷在线检测装置，其特征在于，所述光源发生器(2)固定于样品台(1)的下方，所述CCD相机(3)架设于样品台(1)的上方。

7.一种利用权利要求1所述膜电极缺陷在线检测装置检测缺陷的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(A)将膜电极固定于样品台(1)上；

(B)控制系统复位样品台(1)位置，使样品台(1)处于初始点；

(C)启动测试：运动导轨带动样品台(1)运动，光源发生器(2)向膜电极表面发射线光源，在膜电极表面形成面光源；CCD相机(3)从膜电极表面的另一侧对膜电极表面拍照，并将拍照信息传输至信息处理系统；

(D)测试结束后，信息处理系统根据CCD照片获取缺陷信息。

8.根据权利要求7所述利用膜电极缺陷在线检测装置检测缺陷的方法，其特征在于，步骤(C)中，所述光源发生器(2)发出的LED线光源与CCD相机(3)处于同一竖直线上。

9.根据权利要求7所述利用膜电极缺陷在线检测装置检测缺陷的方法，其特征在于，步骤(C)中，在控制系统中预先设置样品台(1)运动轨道、移动速度及移动距离，用于使光源发生器(2)对膜电极的整个表面进行面扫。

10.根据权利要求7所述利用膜电极缺陷在线检测装置检测缺陷的方法，其特征在于，步骤(C)中，所述运动导轨的移动速度为0.1～800m/min。